제공서비스
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프리미엄 정부지원비대상
가스 잔류 분석기를 이용한 박막 공정 최적화 기술 지원
분류 소재 > 세라믹 > 박막 공정
적용 제품군 반도체 및 디스플레이 박막 장비 개발 및 공정 운영
서비스 운영기관 공동기기원
서비스 담당자 이희철 교수 · 03180410589 · eechul07@gmail.com
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프리미엄 정부지원비대상
마이크로전자 소재·부품·분석 고도화 인프라 구축 및 기술지원(통합지원플래폼_TSP,Total Support Platform)
분류 전기전자 > 전자소자부품·제품 > 전기전자부품
적용 제품군 첨단 반도체 및 마이크로 디스플레이 분야에서 마이크로전자 소재 ·부품
서비스 운영기관 공동기기원
서비스 담당자 이태영 연구교수 · 031-8041-1829 · lty1226@tukorea.ac.kr
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