공동기기원

서비스 유형	프리미엄 서비스
서비스 설명	가스 잔류 분석기를 이용해 진공 시스템 안에 잔류하는 가스를 측정하거나 공정 시스템 내 반응가스, 생성가스 변화량을 실시간으로 모니터링하여 장비, 공정 업체의 박막 증착 또는 식각 공정 기술을 지원 <br/> • 운반 가능한 카트 형태의 분석기를 운영하며 박막 장치의 포라인(foreline)에 연결하여 잔류 가스 분석을 통하여 공정 최적화 지원
서비스 설명 자료
분류	소재 > 세라믹 > 박막 공정
서비스 공정구분	측정/평가/분석
세부공정	측정/평가/분석 : 측정/분석/평가
적용제품	반도체 및 디스플레이 박막 장비 개발 및 공정 운영
서비스 운영기관	공동기기원
코디네이터 담당자	ㆍ성명 : 백우일 / 센터장 ㆍ소속기관 : (재)FITI시험연구원 ㆍ연락처 : 1533-0101(내선3), 02-6928-8481 ㆍ이메일 : 191@fitiglobal.com
서비스 담당자	ㆍ성명 : 이희철 교수 ㆍ연락처 : 031-8041-0589 ㆍ이메일 : eechul07@gmail.com

서비스공정	서비스 지원기간	서비스 설명	세부공정
1.측정/평가/분석	1 개월	CVD 또는 ALD 증착 시 반응 부산물을 모니터링하여 소스 가스의 챔버 잔류 시간 조절에 활용하는데 이는 공정 조건과 밀접한 관계가 존재 <br/> • 부산물 및 부산물 반응물이 과도하게 검출될 경우 유량 증가 또는 압력 감소를 진행하여 챔버 잔류 시간을 감소 <br/> • 주로 반응 소스 가스가 검출될 경우 유량 감소 또는 압력 증가를 통하여 챔버 잔류 시간을 증가 <br/>반도체·디스플레이 식각 장비에서 식각 가스의 분해 및 반응 부산물의 생성 분율을 확인하여 최적화된 공정 조건 확립 <br/> • 탄화불소 또는 염화물 기반 플라즈마에서 불소 라디칼의 분율 증가를 위한 공정 조건 확립 또는 식각 공정에서 식각 반응 부산물의 검출을 통한 공정 endpoint 시간 추출 <br/>진공 시스템의 가스 라인 및 챔버 내부에서의 불순물 outgassing량 측정 <br/> • 산소, 수분, 탄화 수소 등의 불순물 가스 검출 관리 <br/> • 챔버의 in-situ 플라즈마 공정시 endpoint 초기 설정 활용 <br/>양산 진공 장비에서 발생할 수 있는 리크 감지의 용도로 사용 가능하며, 장비를 대여하여 장비 상의 문제를 해결할 수 있을 것으로 기대	측정/분석/평가

제공서비스