공동기기원

SuPro Instruments

기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기/도금장비

없음

[ 주요 구성품 ] : - 본체 및 터치 패널 컨트롤 유닛 - 고품질 로터리 펌프 - 피라니 진공 게이지 및 챔버 시스템 - 타겟 모듈 등 [ 핵심 성능 사양 ] - Vacuum Pump: Rotary Pump (속도: > 4 m³/h) - Starting Time: 2분 이내 - Vacuum Gauge: Pirani Gauge - Chamber Size: 약 Ø 120 × 120 mm - Target Size: Ø 50 × 0.1~2 mm (기본 사양: 0.2 mm) - Sputtering Power: DC 최대 20W (최대 60 mA, 0~800 V DC) 등

본 장비는 주사전자현미경(SEM) 분석을 위한 전처리용 소형 이온 스퍼터 코터(Mini Coater)입니다. 마그네트론 스퍼터링 캐소드 기술을 적용하여 저발열 및 시료의 플라즈마 손상을 최소화하면서 정밀한 금속 박막 코팅을 수행합니다. 고품질 로터리 펌프를 탑재하여 신속하게 고진공 상태에 도달하며, 터치 패널을 채택하여 직관적이고 편리한 조작 환경을 제공합니다. 비전도성 시료의 표면 차징(Charging) 현상을 효과적으로 방지함으로써 고해상도 미세 구조 분석 및 이미징 구현에 필수적인 성능을 발휘합니다.