공동기기원

○ 최소 회로 구현 정도 : 10Pitch급 (L/S = 5/5㎛)

○ 에칭 후 Uniformity(PCB 기판기준) : 95% 이상

○ 표준 기판 사이즈 : 510 × 610mm (510 × 510mm 까지 조정 가능)

- 표준 사이즈 이외의 제품은 별도의 JIG를 사용하여 사용 가능.

○ 컨베어 가이드폭: 180mm, JIG폭: 150mm, JIG길이: 1020mm

○ 처리기판 두께 : 0.04mm~0.8mm

○ 표준속도 : 2.5m/min

○ 장비속도 : 0.5~4.0m/min

 

【Fresh Etching 라인】

○ 기본 방식 및 사양

1) 기본방식 :

- Etching : Loader → Etching → Water Rinse 1 → ACID Rinse 1 → Water Rinse 2 → Air Cut → Hot Dryer → Unloader → Return Conveyor

2) 기본 사양

- 최대 기판사이즈 : 510mm(L) x 610mm(W)

- 최소 기판사이즈 : 510mm(L) x 510mm(W); JIG에 따라 최소기판사이즈 변경 가능

- 사용기판두께 : 0.04mm ~ 0.8mm

- 처리속도 : 0.5m/min ~ 4.0m/min (STD 2.5m/min)

- PASS LINE : 1100±50mm

- 장비재질 : PVC, SUS

- 사용약품 : 에칭액(CuCl2 + HCl + NaClO3)

- Etching단 길이 : 1300mm

- Process time : ~ 31 sec

- Temperature : 30 ± 2 ℃

- Spray pump : 3.7Kw x 1ea, Inverter Control

- Spray Unit : Ahead/Behind per 1set, Nozzle(Flat type)

- Spray Pressure : 2.0kgf/㎠

- Pressure Guage : 4kg/㎠ × 21 ea

3) Utility

- 전기 : 3 Phase 5 line x 380V x 50Hz(±0.2Hz)

- City Water : 1~3kg/cm2

- DI Water : 1~3kg/cm2

- Heating Water : 2~3kg/cm2 (60℃)

- Cooling Water : 1~3kg/cm2 (7~10℃)

- Compressor Air : 5~6kg/cm2 (60℃)

- Heat Exhaust : 65A-8EA / 75A-1EA, 31.86m3/min

- Alkali Exhaust : 75A-6EA, 21.24m3/min

- Conductivity : 1EA - Final Rinse

4) Conveyor Part

- Direction : Right to Left

- Body material :

Wet part - PVC 10t, 15t

Dryer - SUS304

Frame - SS41

LD/ULD - SS41

Cover - Yellow PVC

- Roller Pitch : 100mm pitch, 120 pitch

- Main Shaft : φ15 - SUS316

- Roller Shaft : φ10 - SUS316

- Gear : Wet - GUR + SUS Ring, Dryer - Magnet Gear

 

【Strip 라인】

○ 기본 방식 및 사양

1) 기본방식 :

- Strip : Loader → Strip → Water Rinse 1 → ACID Rinse 1 → Water Rinse 2 → Squeeze → Air Cut → Hot Dryer → Unloader → Return Conveyor

2) 기본 사양

- 최대 기판사이즈 : 510mm(L) x 610mm(W)

- 최소 기판사이즈 : 510mm(L) x 510mm(W); JIG에 따라 최소기판사이즈 변경 가능

- 사용기판두께 : 0.04mm ~ 0.8mm

- 처리속도 : 0.5m/min ~ 4.0m/min (STD 2.5m/min)

- PASS LINE : 1100±50mm

- 장비재질 : PVC, SUS

- 사용약품 : 박리액 : NaOH, 아민계

- Strip단 길이 : 2000mm

- Process time : ~ 48 sec

- Temperature : 30 ± 2 ℃

- Spray pump : 3.7Kw x 1ea, Inverter Control

- Spray Unit : Ahead/Behind per 1set, Nozzle(Flat type)

- Spray Pressure : 2.0kgf/㎠

- Pressure Guage : 4kg/㎠ × 21 ea

3) Utility

- 전기 : 3 Phase 5 line x 380V x 50Hz(±0.2Hz)

- City Water : 1~3kg/cm2

- DI Water : 1~3kg/cm2

- Heating Water : 2~3kg/cm2 (60℃)

- Cooling Water : 1~3kg/cm2 (7~10℃)

- Compressor Air : 5~6kg/cm2 (60℃)

- Heat Exhaust : 65A-8EA / 75A-1EA, 31.86m3/min

- Alkali Exhaust : 75A-6EA, 21.24m3/min

- Conductivity : 1EA - Final Rinse

4) Conveyor Part

- Direction : Right to Left

- Body material :

Wet part - PVC 10t, 15t

Dryer - SUS304

Frame - SS41

LD/ULD - SS41

Cover - Yellow PVC

- Roller Pitch : 100mm pitch, 120 pitch

- Main Shaft : φ15 - SUS316

- Roller Shaft : φ10 - SUS316

- Gear : Wet - GUR + SUS Ring, Dryer - Magnet Gear

【Etching, Strip line Loader, Unloader】

1) Loader(Conveyor Type)

- Input Conveyor : Servo Motor & Magnet Drive

- PCB Handling : 6 Axis Robot (Max load 13Kg)

Finger Adjustable According to Size, Vaccume

- PCB Clamp Unit : Jig Alignment, Clamp open/close(cilinder control)

Check clamp condition(Alarm & deliver to Idle Stage)

- Turn Unit : Servo Motor

- Output conveyor : Servo Motor & Magnet Drive

2) UnLoader(Conveyor Type)

- Input Conveyor : Servo Motor & Magnet Drive

- PCB Handling : 6 Axis Robot (Max load 13Kg)

Finger Adjustable According to Size, Vaccume

- PCB Clamp Unit : Jig Alignment, Clamp open/close(cilinder control)

Check clamp condition(Alarm & deliver to Idle Stage)

- Turn Unit : Servo Motor

- Output conveyor : Servo Motor & Magnet Drive

【Etching, Strip line Return Conveyor】

- Drive Motor : 0.4Kw x 3ea

- Jig Sensor : per 1ea

- Drive type : Roller

- Material : PVC 10t, 15t

【Auto Supply System】

1) Chemical Tank : 300 Liter

- metering pump : 0.2Kw X 1ea

- Chemical supply : Air pump

- Exhuast : 25A x 1ea

- Level Sensor : Float type x 4ea

- Material : PVC 10t

2) Mixing Tank : 600 Liter

- Supply pump : 0.26Kw X 1ea

- Circulation : By solenoid valve

- Exhuast : 40A x 1ea

- Level Sensor : Float type Level Sensor x 6ea

- Chemical supply : Develop Chemical Tank + DI water auto supply

Air valve control

- Concentrater : DM-2

- Material : PVC 10t, 15t

3) Storage Tank : 1300 Liter

- Supply pump : 0.4Kw X 1ea

- Circulation : By solenoid valve

- Exhuast : 40A x 1ea

- Metering pump : 0.2Kw X 2ea, 7L/min

- Heating Unit’s & Air Motor Valve Unit : 20A x 1ea, Heating time : 60min

- Temperature sensor : PT 100Ω x 2ea

- Level Sensor : Level Sensor x 4ea

- Use Temperature : 25 ~ 33℃

- Supply System : Panel Counting System

- Material : PVC 10t, 15t

○ 공사범위

1) 납입장소 : 한국공학대학교 첨단제조혁신관 2층 회로공정실

2) 납기 : 발주후 180일내 납품 조건

3) 제작사 : 기기 일식 및 기기 반입.

: 기기내 배관공사(기기말단 까지) 및 연결

: 기기내 배선공사(제어반 까지) 및 배전반 연결

: 기기내 배기공사(Damper 까지) 및 연결

: 시운전 및 조정

○ 제반사항

1) 무상 A/S기간은 설치 후 2년.

2) 검수

- 장비 입고 후 시운전까지 이상 유무를 확인한다.

- 장비설치, 정도검사 및 시운전은 납품처에서 책임진다.

- 구매자, 제조사의 관계자가 입회한 상태에서 시작품을 제작한 후 규격서와 부합되는지의 여부를 검수한다.

- 시작품제작은 구매자가 제안하는 재료 및 조건으로 수행한다.

3) 장비 운영 교육.

- 장비 정상 설치 후 무상교육 1주일 이상 실시.

4) 주요 spare parts를 구비하여 이상 발생시 교환 및 수리가 가능하도록 하며, 요청이후 24 시간 이내 점검에 응하여야 한다.

5) 제조업체 장비검사성적서 1부.

6) 한글 사용 설명서 2부.

○ 본 과제로 구축한 수직현상기를 이용하여 현상된 기판을 도금한 후 후공정처리를 위한 필수 장비로 반도체급 전자부품의 연구개발에 절실히 필요함
○ 비접촉멀티에칭박리시스템은 국내 업체에서 적극적으로 시장에 진출해 있으며, 고객 커스터마이즈, 사후관리 등도 유리함.
○ 업체 간 성능 편차가 없으므로 가격비교를 통해 우선 검토 대상으로 선정함.