공동기기원

장비정보

제작사
ADTEC ENGINEERING CO., LTD
모델 명
INPREX IP-4H

내용연수
4년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
취득일
2020.10.14.

취득금액
₩1,248,181,818
인증정보
기능
* 본체시스템 구성 1. 노광장치본체(오토캐리어(자동 기판 반송부 포함)) 2. 광원 유닛 3. 온조기(HEPA 필터 부착) 4. 칠러(광원 유닛 내 모듈 냉각용) 5. 블로워 유닛(스테이지 흡착용) 6. 반전기 7. Job server(PC, UPS)
장비 상세설명
* 드라이필름레지스터(DFR)가 라미네이트 된 기판에 회로 패턴 데이터를 직접 노광하는 디지털 노광 시스템. * 포토 마스크 없이 CAM DATA를 기판 위에 직접 노광하여 미세회로(L/S 5/5 ㎛)

* 드라이필름레지스터(DFR)가 라미네이트 된 기판에 회로 패턴 데이터를 직접 노광하는 디지털 노광 시스템.
* 포토 마스크 없이 CAM DATA를 기판 위에 직접 노광하여 미세회로(L/S 5/5 ㎛)