공동기기원

HITACHI

광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

없음

Magnification: 25 to 500000x or wider Accelerating Voltage: 0.5~30kV or wider Gun Source: Three Stage Electromagnetic lens conical obj. lens Objective lens aperture: variable 4 steps Stigmator:8-pole electromagnetic deflection type Special Stage -X moveme

* 품명 및 모델 : 주사전자현미경 Scanning Electron Microscope [Hitachi S-4700] - 본 장비는 전자빔을 측정하고자 하는 시료위에 주사시켜서 튀어나온 2차 전자를 모아서 검출한뒤 3차원적인 시료의 형상을 나노단위로 측정할수 있고 조직성분을 분석할수 있는 전자현미경장치로서 Filed Emission type 전자현미경은 일반적인 전자현미경과는 달리 저전압에서도 5nm정도의 고정도 해상도를 가지며 팁 교환주기가 길어 낮은 유지관리비가 소요됨 주로 초미세 전자부품 및 신소재 제조업체에서 재료 성분 및 형상 측정 검사 등에 사용되는 공정 필수장비임