보유장비현황
- 보유장비현황
- 정면기(D/F전처리기)
- D/F Pretreatment M/C
- i-Tube No. 0911-C-0072
- NTIS No NFEC-2010-01-078343
- 설치기관 한국공학대학교 산학협력단
- 주소 경기 시흥시 산기대학로 237
- 담당자 유미선 (T.029861202)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
(주)금호테크
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모델 명
U-970139/UNI-DF-2000
내용연수4년
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구분
주장비
용도생산
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
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취득일
2009.11.18.
취득금액₩192,500,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
기타
장비 사용료₩30,000
장비설명
CCL의 산화 제거 및 Dry Film 과의 밀착성 증대, PCB 미세회로 형성을 위한 전처리 설비
기판의 밀착력 증대를 위하여 기계적방식 정면(600방,800방) 화학적인 방식 S/E으로 표면조도를 높여주는 방비
장비 구성 및 성능
* 처리기판규격 Min. 250(L) x 250(W) mm Max.610(L) x 610(W) mm* 제품 두께 Min 0.06mm~5.0mm* HOLE 크기 0.15mm 이상* 처리 약품 황산 계열