보유장비현황
- 보유장비현황
- 플라즈마 장비
- Plasma Machine
- i-Tube No. 1204-D-0275
- NTIS No NFEC-2012-11-173333
- 설치기관 (재)충북테크노파크
- 주소 충북 청원군 오창면 양청리 685-1
- 담당자 홍경진 (T.043-270-2314)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
팸토사이언스
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모델 명
COWIN160
내용연수9년
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구분
부대장비(부가장치)
용도시험
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표준 분류
전기·전자장비 > 분석장비 > 달리 분류되지 않는 분석장비 (주장비: EPN0021337)
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취득일
2012.04.03.
취득금액₩103,940,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩5,950
장비설명
□ 용 도
: Die Bonding, Wire Bonding, Mold 등의 패키징 공정전에 플라즈마를 통해 PCB, Lead-Frame 기판의 산화막이나 유기막을 제거하여 계면의 접착력을 향상시키는 용도로 패키지 시제품 제작에 필요한 기초 장비임
□ 활 용
: 다양한 패키지 타입에 적용할 수 있는 플라즈마 장비로 SOP, QFN, QFP, BGA, CSP, SIP 등의 패키지시제품 제작 공정의 장비로 활용
장비 구성 및 성능
□ 장비사양
1. Chamber Size : 580 x 550 x 490mm (W x D x H mm)
2. RF Power Source : 13.56MHz
3. RF Power : 600W
4. RF Power Meter : Digital display
5. Process Gas : O2, Ar, N2
6. 진공펌프 : 800 l/min, 오일 로타리 펌프
7. 가스 컨트롤러 : MFC Control