포항공과대학교 나노융합기술원

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보유장비현황

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장비정보

  • 제작사

    NIKON

  • 모델 명

    NSR S204B

    내용연수

    40년

  • 구분

    주장비

    용도

    시험

  • 표준 분류

    기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비

  • 취득일

    2024.05.24.

    취득금액

    ₩3,500,000,000

  • 인증정보

    없음

  • 기능

    반도체 제조공정에서 광원을 활용하여 설계한 회로패턴을 웨이퍼에 전사하는 장비로 미세패턴을 형성 - 8인치 SiC, GaN 소재 웨이퍼를 대상으로 대전류 특성 구현하기 위한 nm-scale 미세 패터닝 가능

  • 장비 상세설명

    SiC 및 GaN 전력반도체 소자의 대전류 특성 구현하기 위한 nm-scale 미세 패터닝 공정 8인치 SiC 웨이퍼 및 GaN HEMT 구조 웨이퍼를 대상으로 대전류 특성 구현하기 위한 nm-scale 미세 패터닝 가능 SiC 전력반도체의 경우 좁은 셀 pitch를 통한 대전류 특성을 구현, GaN의 경우 대전류 특성과 높은 스위칭 속도 구현 가능

장비 사용법

  • 사용형태

    설치형태

    고정형

  • 사용료 형태

    건별

    장비 사용료

    [EA] ₩60,000

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