포항공과대학교 나노융합기술원

사례연도 2022

기업요구사항 8인치 GaN 전력반도체 핵심공정 개발 지원

지원내용 - 8인치 GaN 전력반도체 핵심제조공정 지원
- 감광성 Polyimide(PSPI) PW1500S 신규 재료평가를 위한 핵심공정장비 서비스 지원
- Top Metal Etch 공정 최적화 및 표면 처리

주요성과 - 전력반도체 Passivation 주요 소재인 감광성 Polyimide의 Set up 완료하여 핵심공정 최적화 및 양산화 기반 조성
- GaN 전력반도체 핵심공정인 Top Metal 다층막의 Etch 공정을 Set up 완료하여 제품화 및 모듈화 개발 가속화

사례연도 2021

기업요구사항 SiC 전력반도체 제품 양산화 지원

지원내용 - Dry Etcher 등 반도체 제조공정 장비 및 클린룸 공간 장기 임대 지원하여 양산 라인 구축 지원
- SiC 전력반도체 제조공정 최적화 및 단위공정 평가 지원
- SiC 전력반도체 (SiC MPS Diode 및 SiC MOSFET) 시제품 제작 지원 등 사업화 지원

주요성과 - 탄화규소(SiC) 소재 전력반도체 국내 최초 양산(2018년)
- SK에서 2021년 268억원 투자(지분율 33.6%), 2022년 4월 약 1,200억원 투자(지분율 95.8%)하여 기업가치 상승