Gatan Inc.
682
5년
부대장비(부가장치)
기타
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 (주장비: )
2005.03.28.
₩87,502,290
기관의뢰
고정형
건별
₩13,000
각 종 타겟에 이온빔을 조사하여 재료 표면에 도전성 코팅 및 이온빔을 재료표면에 직접 조사하여 표면 에칭 장비
1. Ion Gun : Three Penning Gun
2. Ion Beam Energy : 1.0 ~ 10.0 keV
3. Ion Current Density : 10mA/cm2
4. Gas : Argon (0.1cc/minute/gun)
5. Etch Area : 7 ~ 10mm2
1. Ion Gun : Three Penning Gun
2. Ion Beam Energy : 1.0 ~ 10.0 keV
3. Ion Current Density : 10mA/cm2
4. Gas : Argon (0.1cc/minute/gun)
5. Etch Area : 7 ~ 10mm2