보유장비현황
- 보유장비현황
- 전계방사형 주사전자현미경
- Field Emission Scanning Electron Microscope
- i-Tube No. 0503-A-0019
- NTIS No NFEC-2007-10-018482
- 설치기관 재단법인구미전자정보기술원
- 주소 경북 구미시 산동면 봉산리 구미국가산업단지 4단지 13블럭
- 담당자 김민수 (T.054-479-2183)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Jeol
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모델 명
Jeol/JSM-7000F
내용연수5년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
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취득일
2005.03.15.
취득금액₩356,332,470
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인증정보
없음
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기능
가속 전자빔을 시료에 조사할 때 방출되는 2차전자,후방산란 전자를 이용한 시료 표면의 미세한 요철상,조성상을 관찰
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장비 상세설명
구성 1. 전계방사형 주사전자현미경(JSM-700F) : 컴퓨터(LCD모니터포함), 터보펌프전원공급장치(STP300), 이온펌프용UPS, -IR 카메라용 TV decorder/controller 2. 에너지분산엑스선분광기(INCA Energy 감지기) : INCA Energy interface(X-stream, mics) 2대, PC(LCD 모니터포함) for EDS, EBSD 3. 후방산란전자회절분석기(INCA Crystal) : EBSD Controller, EBSD Power box 4. 마그네트론스퍼터코팅기- 성능1. Resolution: 1.2nm(15kV), 3.0nm(1kV)2. Magnification : ⅹ10 ~ 500,0003. Accelerating Voltage : 0.5kV ~ 30kV4. Image Mode : SE. BSE5. Option mode : EDS
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩55,000
장비설명
주사전자현미경은 전자 현미경의 한 종류로, 집중적인 전자 빔으로 주사하여 표본의 상을 얻는다. 약자로 줄여 SEM이라고도 한다. 전자들은 표본의 원자들과 상호반응하여 표본의 표면 지형과 구성에 대한 정보를 담고 있으며 검출 가능한 다양한 신호들을 생성한다.
가속 전자빔을 시료에 조사할 때 방출되는 2차전자,후방산란 전자를 이용한 시료 표면의 미세한 요철상,조성상을 관찰
장비 구성 및 성능
구성 1. 전계방사형 주사전자현미경(JSM-700F) : 컴퓨터(LCD모니터포함), 터보펌프전원공급장치(STP300), 이온펌프용UPS, -IR 카메라용 TV decorder/controller 2. 에너지분산엑스선분광기(INCA Energy 감지기) : INCA Energy interface(X-stream, mics) 2대, PC(LCD 모니터포함) for EDS, EBSD 3. 후방산란전자회절분석기(INCA Crystal) : EBSD Controller, EBSD Power box 4. 마그네트론스퍼터코팅기- 성능1. Resolution: 1.2nm(15kV), 3.0nm(1kV)2. Magnification : ⅹ10 ~ 500,0003. Accelerating Voltage : 0.5kV ~ 30kV4. Image Mode : SE. BSE5. Option mode : EDS, EBSD