광패키징기술지원센터

가. 주요 기능
○ 양방향 송수신 동시 정렬 및 모니터링 기능
○ 자동해머링 (Auto Hammering) 기능
○ 4-Piece (파이버-슬리브-렌즈-패키지) 정렬 기능
○ 레이저 축 각도 Motorized Stage 이용 조정 기능 : 0~20°
○ 19축 Motorized Stage 정렬 유닛
○ 매거진 기반 매뉴얼 부품 공급
○ 제품 바코드 인식을 통한 제품 인덱싱
○ 렌즈 Focal Length 및 Laser Diode (LD) 문턱전류 측정 기능
○ Upper Chuck 회전 기능
○ 공정장비 및 통합관제플랫폼 간 연동 기능 지원
■ TCP/IP 통신 프로토콜 기반 공정 상태, 데이터, Recipe 정보 전송
■ TCP/IP 통신프로토콜 기반 공정장비 원격 제어
○ 다품종 제작지원을 위한 지그 및 정렬/용접 기능
○ 패키지 바이어스 인가를 위한 지그 및 정렬/용접 기능



나. 장비 구성
○ 광부품을 마운팅 및 정렬하는 10축 Motorized Stage
○ 정렬완료된 위치에 용접용 레이저를 조준하는 9축 Motorized Stage
○ 용접용 레이저 조준을 위한 6축 Manual Stage
○ 능동정렬용 레이저광을 발생시키는 LD & LD Driver
○ 계측기: Detector / Powermeter / Picoammeter
○ 용접용 레이저광원과 전달용 파이버
○ 용접용 레이저의 조준을 가이드하기 위한 적색 레이저광원
○ 렌즈 홀더
○ 자동 Z-Sleeve Holder
○ 자동해머링 (Auto Hammering) 알고리즘
○ 다품종 제작지원을 위한 지그 및 정렬/용접 기능
○ 패키지 바이어스 인가를 위한 지그 및 정렬/용접 기능



다. 규격/사양
○ 정렬 유닛
■ Z축 정렬
▷ Motorized Stage
ㆍ스트로크 / 분해능 : 70mm / 0.05μm

■ Upper Chuck Rotation
▷ Motorized Stage
ㆍRotation 스트로크 / 분해능 : 360° / 0.06°

■ 레이저 정렬
▷ Motorized Stage
ㆍY 스트로크 / 분해능 : 30mm / 2μm (Full), 1μm (Half)
ㆍZ 스트로크 / 분해능 : 30mm / 2μm (Full), 1μm (Half)
ㆍTilt 스트로크 / 분해능 : 50mm / 2μm (Full), 1μm (Half)
▷ Manual Stage
ㆍX1 스트로크 : ±6.5mm
ㆍL1 스트로크 : ±6.5mm

■ 렌즈 정렬
▷ Motorized Stage
ㆍX 스트로크 / 분해능 : 15mm / 2μm (Full), 1μm (Half)
ㆍY 스트로크 / 분해능 : 15mm / 2μm (Full), 1μm (Half)
ㆍZ 스트로크 / 분해능 : 15mm / 2μm (Full), 1μm (Half)
▷ Manual Stage
ㆍTilt X 스트로크 : ±2.5°
ㆍTilt Y 스트로크 : ±4°

■ 패키지 정렬
▷ Motorized Stage
ㆍX 스트로크 / 분해능 : 70mm / 0.05μm
ㆍY 스트로크 / 분해능 : 70mm / 0.05μm
ㆍTilt 상 / 분해능 : ±6° / 0.0025°
ㆍTilt 하 / 분해능 : ±5° / 0.002°
ㆍRotation / 분해능 : 360° / 0.004°

○ 용접 및 조준용 레이저 유닛
■ 용접용 Nd-YAG Laser
▷ Wavelength : 1064nm
▷ Maximum Average Power : 15W
▷ Maximum Output Energy : 15J/P (Pulse Width 5ms)
▷ Fiber Optic Delivery : 3 Deliveries of Laser Output
▷ Cooling Method : Forced Air-cooled
▷ 조사용 Fiber 개수 : 3ea
▷ 조사용 Fiber 배열 각도 : 120°
▷ Power Fluctuation : 10% 이하
▷ 조사용 Fiber 3개의 출사빔간 Power Balance : 5% 이하

■ 조준용 Laser
▷ 조준용 Laser 파장 : 적색 (615nm ~ 700nm)

○ 디텍터 & 파워미터
■ 디텍터
▷ Spectral Range : 800 to 1650nm
▷ Max Measurable Power : 200mW
▷ Power Range : 1nW ~ 200mW

■ 파워미터
▷ Sampling Rate : 250kHz
▷ Maximum Detector Input Current : 25mA

○ 레이저 다이오드 & 레이저 다이오드 컨트롤러
■ 레이저 다이오드
▷ Laser Source (850nm) : Power Min. 7.5mW, Fabry-Perot Type
▷ Laser Source (1310nm) : Power Min. 1.5mW, DFB Type
▷ Laser Source (1550nm) : Power Min. 1.5mW, DFB Type

■ 레이저 다이오드 컨트롤러
▷ Current Control Range : 0 to 1A
▷ Photocurrent Measurement Ranges : 2mA / 20mA
▷ QCW Mode (Pulse Width Range) : 100μs to 1s
▷ QCW Mode (Repetition Rate Range) : 1ms to 5s (0.2 to 1000Hz)
▷ TEC Current Output(Control Range) : -8 to +8A
▷ Temperature Range (Max) : -55 to +150°C

○ Picoammeter
■ Picoammeter
▷ Current Ranges : 2nA ~ 20mA
▷ Voltage Burden : 200μV (1mV on 20mA Range)
▷ Reading Rate : Up to 1000/s
▷ Voltage Sweeps : Yes
▷ Alternating Voltage Ohms : Yes

○ 원격 제어부
■ Ethernet TCP/IP 기반 통신 프로토콜 연동 원격 관리 및 제어 기능
▷ TCP/IP 기반 한국전자통신연구원 통합관제플랫폼 연동 장비 관리 기능(공정 장비가 서버 역할 수행)
▷ 한국전자통신연구원 통합관제플랫폼의 Command 기반 장비 제어 기능(장비 운영을 위한 원격 제어 명령어 수신 기능)
▷ 공정 우선권 제어를 위한 사용자 모드 선택 기능(통합관제플랫폼 혹은 공정 장비 구동 우선권 제어)
▷ 공정 장비 구동을 위한 Recipe 설정 파일의 한국전자통신연구원 통합관제플랫폼 송수신 기능
▷ 통합관제플랫폼에서 공정 장비의 Recipe List 조회 기능
▷ 공정 이벤트/알람 등 공정 중 발생하는 메시지의 한국전자통신연구원 통합관제플랫폼으로 전송 기능
▷ 공정 상태 정보 한국전자통신연구원 통합관제플랫폼으로 전송 기능
■ Ethernet TCP/IP 기반 통신 프로토콜 연동 원격 장비 모니터링