전북나노기술집적센터

저온 스퍼터 - ICP RIE 복합장비 (Low temperature Sputter ICP RIE Cluster System)

크기 370㎜×470㎜의 유리기판 및 유연필름, 웨이퍼(16인치 이하) 기판을 이용하여 무…
○ 주요사양 - 구성 : Sputter 2set, ICP RIE 1set, Load …

마스크 얼라이너(8인치) (Mask Aligner 8inch)

1. 크기 200㎜×200㎜의 유리기판 및 유연필름, 웨이퍼(8인치 이하) 기판을 이용하여…
○ Substrate type & Size - Glass : Max. 200x200㎟…

유기증착 마스크 정렬 모듈 (Mask Align Module For Organic Evaporation)

본 장비는 유기증착기 장비의 정렬 모듈로 크기 200㎜×200㎜의 기판을 이용하여 증착용 …
장비구성 - Substrate size : 200×200㎟ - Effective…

스핀 트랙 시스템 (Spin track system)

- 감광성 소재를 코팅하고, 원하는 회로 패턴이 포함된 포토마스크를 통해 기판 위에 회로 …
- Substrate type & Size : Glass(200x200㎟), Wafer(8…

유기스트리퍼 (Organic Stripper)

감광소재 및 유기잔여물 제거 공정에 활용 - 본 장비는 포토리소그래피 공정에서 식각…
1. 장비구성 1) Neutral : 컨베이어 이송 대기 2) Strip C…