경기도반도체기술센터

차세대융합기술연구원

보유장비현황

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장비정보

  • 제작사

    한국세라텍

  • 모델 명

    FU-PK-G2

    내용연수

    10년

  • 구분

    주장비

    용도

    시험

  • 표준 분류

    기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 퍼니스

  • 취득일

    2024.08.08.

    취득금액

    ₩15,000,000

  • 인증정보

    없음

  • 기능

    - 산소가스 최대유량 500 sccm 주입하면서 열처리 가능 <br/>- 열처리 온도 : 1200C <br/>- 반도체 소재 열처리 <br/>- 상/하 개폐가 가능하여 샘플 상태 확인가능 <br/>- 200mm x 3 Hot Zone <br/>

  • 장비 상세설명

    - 가스 분위기 사용에 용이한 장비 <br/>- 로 분위기 온도 1000℃ 이하 사용시 주로 사용되는 장비 <br/>- 상/하 개폐가 가능하여 샘플 투입상태를 확인가능한 장비 <br/>- 온도 균일도 우수함

장비 사용법

  • 사용형태

    기관의뢰

    설치형태

    이동형

  • 사용료 형태

    시간별

    장비 사용료

    [Hr] ₩30,000

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