경기도반도체기술센터

차세대융합기술연구원

보유장비현황

장비정보

  • 제작사

    Linseis

  • 모델 명

    TIM-Tester

    내용연수

    10년

  • 구분

    주장비

    용도

    분석

  • 표준 분류

    물리적측정장비 > 온도/열/습도/수분측정장비 > 열전도도/열상수측정장비

  • 취득일

    2024.09.26.

    취득금액

    ₩107,820,920

  • 인증정보

    없음

  • 기능

    본 장비는 반도체의 실제 작동 환경을 모사한 환경에서의 열저항 측정을 지원함. 열원과 냉각을 통해 온도를 제어하며 시료의 온도가 일정시간 안정한 구간에서 측정을 시행 두께 측정, 압력제어, 온도설정이 가능하며 열저항과 열전도도간 자동변환 및 데이터 제공 표준측정법에 따라 액체, 박막, 벌크 등 다양한 시료의 열전도도의 계산이 가능 마이크로미터 수준에서 밀리미터 수준까지 정밀한 두께 측정과 압력조절로 열계면의 손실을 최소화 -열 재료뿐만 아니라 박막 등 대부분 반도체 구성요소 및 그외 분야의 열전도 소재의 열전도도 측정 -열적 신뢰성 평가 장비와의 연계를 통한 피드백 가능

  • 장비 상세설명

    동적 열재료 측정기는 각종 열재료 및 반도체 소재의 열저항 특성을 정밀하게 측정할 수 있는 장비로써, 두께와 압력의 정밀한 제어가 가능하기 때문에 금속, 세라믹 뿐 아니라 써멀 구리스, 써멀 패드 등 연성 재료의 열적 특성을 고정밀로 측정할 수 있음. 반도체의 실제 작동 환경을 모사한 환경으로 열계면재료에 해당하는 시료를 가열함으로써 실제 윗면과 아랫면의 온도차이를 측정하여 열저항성 및 열전도도의 평가가 가능함. 일정한 압력으로 시료를 압착하며 온도변화, 두께변화, 반복측정 등 다양한 프로그래밍이 가능함. 반도체 개발시 열재료의 시험 평가 및 패키징에서의 열적 문제 분석 결과를 제공가능.

장비 사용법

  • 사용형태

    기관의뢰

    설치형태

    고정형

  • 사용료 형태

    시간별

    장비 사용료

    [Hr] ₩40,000