경기도반도체기술센터

Kratos Analytical

화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비

없음

- 초표면분석 : 분석 깊이 약 1~3 nm로, 거의 원자 한두 층 수준의 초박막 분석이 가능 - 고해상도 화학 조성 맵핑 : 수십 나노미터 수준의 공간 해상도로 조성 분석 가능 - 이미징 기능 : 표면의 구성 원소 분포를 시각화하여 2D 조성 맵 생성 가능 - 금속 및 무기물 분석에 특화 : 도체나 반도체 재료 표면 조성 분석에 적합

- 분석깊이 : 1~3 nm (XPS보다 더 얕은 깊이에서의 분석 가능 - 공간 해상도 : <10 nm 수준의 고해상도 이미징 가능 - 검출 원소 범위 : 원자번호 Z ≥ 3 (Li 이상 대부분 원소 감지 가능) - 정량 분석 능력 : 1 at.% 이하의 검출 한계 - 이미징 분석 : 2D 조성 맵 생성, 라인 스캔 및 포인트 분석