보유장비현황
- 보유장비현황
- 비행시간형 이차이온질량분석기
- time of flight secondary ion mass spectrometer
- i-Tube No. 2507-B-0027
- NTIS No NFEC-2025-07-307371
- 설치기관 재단법인차세대융합기술연구원
- 주소 경기도 수원시 영통구 광교로 145(이의동)
- 담당자 이윤정 (T.0318889438)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Iontof
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모델 명
M6
내용연수9년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
화합물전처리/분석장비 > 질량분석장비 > 이차이온질량분석기
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취득일
2025.07.28.
취득금액₩1,936,794,820
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인증정보
없음
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기능
- Time-of-Flight 방식의 이차 이온 질량 분석(TOF-SIMS) 기반 - 나노 수준의 고해상도 화학 이미지 제공 - 3D 깊이 프로파일링 기능 탑재 - 비파괴적 방식으로 민감한 시료 분석 가능
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장비 상세설명
- 최신 고속 TOF 분석기 탑재 - 최대 256×256 픽셀 고해상도 이미지 획득 - Bi3+ 이온건, Cs+/O2+ 이온건 다중 이온빔 탑재 - 정밀한 시료 위치 조정 및 자동화 시스템 포함 - 진공 유지 성능 우수하여 장시간 안정 분석 가능 - 반도체, 재료 분야 모두에 적합
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] ₩150,000
장비설명
- 표면 및 단면의 화학 조성을 정밀 분석 가능
- 3D 깊이 방향 분석과 고해상도 화학 이미지 제공
- 고분해능·고감도 분석 성능 보유
- 민감 시료에도 손상 최소화 가능
- 학술연구 및 산업용 분석 장비로 활용도 높음
- 비파괴적 분석 기능으로 재사용 가능성 확보
장비 구성 및 성능
1. Reflectron type TOF analyzer - 1 set
2. UHV analysis chamber and Fast entry air lock - 1 set
3. Bi cluster ion source (Bi nanoprobe) - 1 set
4. O2 and Cs dual source for Depth profiling - 1 set
5. A motorized five-axes UHV sample stage with - 1 set
6. Two CCD high resolution video cameras - 1 set
7. A high quality Everhart-Thornley secondary electron detector - 1 set
8. A self-adjusting charge compensation system - 1 set
9. Gas flooding system - 1 set
10. Data system - 1 set
11. EDR Analyser - 1 set
12. Photo Navigation - 1 set
13. I/B MAIN Chamber - 1 set
14. I/B loadlock - 1 set
15. H/C Facility in analysis chamber - 1 set