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없음

FE-SEM은 열방사형 전자총이 아닌 전계방사형 전자총을 사용하는 장비이며 더욱이 Cold Type의 FE Gun으로 고분해능을 요구하거나 낮은 가속전압을 필요로 하는 시편, 전자빔 손상을 최소한으로 해야하는 경우 다른 전자총을 사용하는 SEM보다 고해상도의 이미지를 얻을 수 있다.

저온전계방사형 주사전자현미경은 아주 미세한 Gun Electron Source(전자원)으로 부터 인가된 일차 전자가 시료에 조사되면서 이때 발생되는 다양한 전자 (Secondary Electron, Back scattered Electron, Cathode Luminescence, etc.)를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 확대, 관찰하는 기기로서 일반 광학현미경과 비교했을 때 분해능과 집점심도가 우수하여 sample의 표면관찰은 물론 조성 등을 관찰함으로서 시료의 특성, 표면구조 및 결합을 관찰하는데 사용되는 분석기기이다. 특히 낮은 가속전압으로도 고분해능 및 고배율의 분석이 가능하다.