인포비온
모델명 없음
10년
부대장비(부가장치)
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비 (주장비: EPN0002097)
2014.04.01.
₩75,600,000
기관의뢰
고정형
기타
₩1,000,000
- 기보유장비인 광학유전체박막코팅시스템의 업그레이드
- 기보유장비는 1-헤드 센서를 가지고 있어 다층의 두꺼운 적외선용 무반사박막 제작을 위한 실시간 두께 측정 및 제어, 보정이 불가능함
- 적외선광학 무반사 다층박막 제조시 박막의 두께와 평탄도를 조절하기 위해 8-헤드 센서를 장착하여 실시간으로 두께 측정 및 보정
- in-suit 측정으로 공정시 다양한 박막들의 증착속도 및 두께, 박막평탄도를 on-stop 제어
- Chopper wheel부 장착으로 수 nm에서 수 um 까지 박막 코팅두께 제어
- 적외선광학 다층 박막 제작용 in-suit 자동 두께 측정, 보정 시스템
- Rotation 8-head crystal sensor, detector, power, controller, monitor, test glass changer, source 등으로 구성
- 무반사 다층 박막 제조 시 효과적으로 박막의 두께를 조절하기 위해 8-head crystal을 사용하여 실시간으로 두께를 측정하고 피드백을 주어 공정 시 두께를 보정할 수 있는 특장점
1) 8-헤드 센서를 이용하여 실시간 증착속도 및 두께 측정
2) 8-헤드 센서는 센서 교환부와 chopper wheel부로 구성되며 각각 독립적인 구동모터로 회전속도 제어
3) Chopper wheel부의 구동모터는 PC 제어 - 회전속도(∼max. 100 rpm) 조절 및 디스플레이 4) 증착물질의 포집율 제어로 센서 헤드의 사용수명을 증가
5) HMI 프로그램을 적용하여 복잡한 사용 환경을 사용자 중심으로 편리하게 구성
6) 실시간 모니터링으로 증착 상황의 실시간 분석 가능 - 증착속도 및 두께의 실시간 graph display - 데이타 자동 저장 - 실시간 데이터 분석으로 박막두께 보정