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광학유전체박막코팅시스템 (Optical Dielectric Coating System)
광학유전체박막코팅시스템 (Optical Dielectric Coating System)
ㅇ 과제명 : 광통신부품/서브시스템 시제품 생산지원사업
ㅇ 수행연도 : 2005.01~2…
ㅇ 성능
1) Vacuum Chamber Capability
- Inner…
저온 이온빔보조시스템 (Low temperature ion beam assistance system)
저온 이온빔보조시스템 (Low temperature ion beam assistance system)
- 적외선광학 렌즈용 유전체 소재 다층 무반사 박막의 고밀도, 고부착력을 위한 시스템
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- 적외선 광학렌즈용 유전체 소재 다층 무반사 박막의 고밀도, 고부착력을 위한 시스템
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RF 중화형 이온소스 시스템 (RF Neutralizer ion source system )
RF 중화형 이온소스 시스템 (RF Neutralizer ion source system )
적외선광학유리 성형용 금형 코어의 내마모성, 인성, 고온안전성 및 내구성을 향상을 위한 전…
RF ion-beam source, RF power supply, matching box…
초고진공 챔버시스템 (Ultra high vacuum chamber pumping system )
초고진공 챔버시스템 (Ultra high vacuum chamber pumping system )
-적외선광학유리 성형용 금형 코어의 내마모성, 인성, 고온 안전성 및 내구성 향상을 위한 …
1) 고진공(10-7 Torr) 챔버
2) 저압공정( ~10-4 Torr)이 가능한 이온…
8-헤드 광학모니터링 시스템 (8-head Optical Monitoring System)
8-헤드 광학모니터링 시스템 (8-head Optical Monitoring System)
- 기보유장비인 광학유전체박막코팅시스템의 업그레이드
- 기보유장비는 1-헤드 센서를 가지…
- 적외선광학 다층 박막 제작용 in-suit 자동 두께 측정, 보정 시스템
- Rot…
적외선 광학금형 DLC 코팅기 (FCVA Vacuum Coating System)
적외선 광학금형 DLC 코팅기 (FCVA Vacuum Coating System)
- X bend FCVA (Filter Cathode Vacuum Arc) 방식으로 증착 …
- 표면세정 : r.f. Ion Gun (End Hall Type)
- 코팅방식 : …
다변각 적외선분광광도계 (Variable angle IR Spectrophotometer)
다변각 적외선분광광도계 (Variable angle IR Spectrophotometer)
본 장비는 렌즈 및 평판의 적외선 광학박막 코팅 전후 광학특성 측정평가를 위한 장비임.
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(1) 구성
- 적분구가 장착됨
· 중/원적외선
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FCVA DLC 코팅기용 UBM 스퍼터링 시스템 (UBM Sputtering System for FCVA DLC Coating Machine)
FCVA DLC 코팅기용 UBM 스퍼터링 시스템 (UBM Sputtering System for FCVA DLC Coating Machine)
코팅막의 내구성 개선을 위한 중간층 코팅
적외선 광학렌즈의 내구성 박막 및 중간층 코팅
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코팅방식 : 언밸런스드 마그네트론 스퍼터링
최대출력 : RF 600 W
유효코팅 범위 …
마스터금형 스탬핑 장비 (Master Mold Stamping Machine)
마스터금형 스탬핑 장비 (Master Mold Stamping Machine)
초정밀 가공된 비구면형상의 개별 핀 코어를 이송하여 웨이퍼형태의 유리기판상에 마스터 금형을…
○XY스테이지 최대이송범위 : XY 각축±200mm
○최대 스탬핑 금형직경 : Φ220m…
웨이퍼렌즈 적층/정렬/본딩 장비 (Stacking/Alignment/Bonding Machine of Wafer Lens)
웨이퍼렌즈 적층/정렬/본딩 장비 (Stacking/Alignment/Bonding Machine of Wafer Lens)
웨이퍼렌즈 성형공정을 통해 제작된 다수의 어레이렌즈를 Alignment 마크를 기준으로 적…
(1) 주 시스템
- 적층/정렬/본딩을 위한 XYZ Stage등의 이송제어부
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