나노융합센터

ㅇ 나노패턴 면적 1200mm급 원통금형을 건조하기 위한 장비를 상용화하여 판매하는 업체는 없으며, 구축된 장비 중에 요구사양을 만족하는 장비가 없기 때문에 유사장비 제작경험이 있거나 제작이 가능한 업체로부터 제작의뢰가 필요함
- 본 사업을 통해 구축하고자 하는 ‘평판/롤코팅 건조로‘는 1800㎜×Ø300㎜ 크기의 원통금형과 1100㎜×1300㎜ 평판기판 대응이 가능해야하며, 균일한 건조를 위해 원통금형이 회전되어야함
- 순환팬을 장착하여 전 영역에 걸쳐 균일한 온도 110℃를 유지(온도균일도 ±5℃ 이내)하며 원통금형 소재에 도포된 감광제를 건조하는 기능이 필요
- 감광제를 이용한 공정은 동일한 공간(Class 1,000 이하 Yellow room)에서 연속공정이 필요
- 클린룸에 적합한 재질을 사용하여 열에 의한 변형, 뒤틀림 등의 왜곡이 없어야함
- 클린룸 Class 1000 이하로 유지하기 위해 오븐 챔버 내에 헤파 필터(Hepa Filter)를 장착하여 미세먼지 배출을 차단
- 배기장치를 장착하여 챔버 내 온도 유지 및 오염공기의 외부 방출 필요