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위상전이 자외선 노광 시스템 (Phase Shift UV Lithography System)
위상전이 자외선 노광 시스템 (Phase Shift UV Lithography System)
1. 자외선 노광 공정을 이용하여 일정한 두께로 감광제를 도포한 대면적 기판(1.1m ×…
ㅇ Wavelength range: I-line 기준 15mW
ㅇ Intensity Un…
이온빔 가공 장비 (Ion Beam Processing Machine)
이온빔 가공 장비 (Ion Beam Processing Machine)
주사전자현미경(FE-SEM)에 장착된 FIB(집속이온빔장치)으로부터 발생하는 이온빔을 재료…
1. 집속이온빔 구성
ㅇ 분해능: ≤2.5 nm (@ 30kV)
ㅇ 가속전압: 0.5 …
대형 나노 금형 리페어 장비 (Large size nanopatterned mold repair system)
대형 나노 금형 리페어 장비 (Large size nanopatterned mold repair system)
이 장비는 대형 나노 패턴 금형 제작을 위한 폴리머 패턴 제작용 레이저 장비임. 주 구성은…
본 장비는 이광자중합을 이용한 레이저 직접묘화 공정을 구현하는 장비로서,
200x200m…
평판형 대면적 3차원 현미경 (3D Microscope for large area planar substrate)
평판형 대면적 3차원 현미경 (3D Microscope for large area planar substrate)
본 장비는 공초점 레이저 현미경으로 광학현미경, SEM, 형상측정기, 표면 거칠기 측정기의…
- 스테이지 크기(스트로크): 1100㎜ⅹ1300㎜
- 관찰배율: 28,000배 이상(1…
대형 평판형 증착장비 (Sputtering system for large area planar substrate)
대형 평판형 증착장비 (Sputtering system for large area planar substrate)
ㅇ 대면적(1100㎜×1600㎜) 유리기판 상에 금속 및 산화막 등의 다양한 물질을 스퍼터…
ㅇ 스퍼터링 소스
- 파워: DC 20kW
- Single Magnetron Cat…
감광제 두께 측정장비 (Photo Resist Thickness Measuring System)
감광제 두께 측정장비 (Photo Resist Thickness Measuring System)
감광제 두께 측정장비의 박막두께 측정은 반사율을 이용해 두께를 측정하며, 입사광과 반사광의…
(1) Main system
- 대응 기판 사이즈: 1300mm X 1300mm
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대면적 원통/평판 현상 시스템 (Photo Resist Developing System for large area CylinderPlanar substrate)
대면적 원통/평판 현상 시스템 (Photo Resist Developing System for large area CylinderPlanar substrate)
나노금형상용화지원센터 기술개발 중, 대면적 원통/평판 현상 시스템은 원통금형(길이 1200…
● 현상 시스템
ㅇ Process Flow: 투입 → 현상 → 린스 → 건조 → 배출
…
대형 스프레이 코팅 시스템 (Spray Coating System for Large Area Substrate)
대형 스프레이 코팅 시스템 (Spray Coating System for Large Area Substrate)
대형 스프레이 코팅 시스템은 플라즈마 세정, 스프레이 코팅, 건조 순서로 진행되고 대면적 …
1. Loader & Plasma
o 대응 가능 기판 크기: 1,100㎜×1,300㎜
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평판금형 랩핑 장비 (Flat Mold Wrapping Machine)
평판금형 랩핑 장비 (Flat Mold Wrapping Machine)
전자빔/자외선 기반 평판형 나노금형 제조기술을 통해 개발된 평판금형을 본 장비를 이용하여 …
1 파이버 레이저 시스템
① Fiber Laser System
- 최대출력…
대면적 원통박막 코팅 장비 (Roll Coater for Large Area)
대면적 원통박막 코팅 장비 (Roll Coater for Large Area)
감광제가 원통의 축을 따라 한방울씩 분사되고 원통의 전 면적에 분사되도록 공정 시 원통이 …
1. Machine System
ㅇ 대응 원통금형 사이즈: 최대길이 2000㎜, 직경 3…