보유장비현황
- 보유장비현황
- 평판형 대면적 3차원 현미경
- 3D Microscope for large area planar substrate
- i-Tube No. 2001-A-0087
- NTIS No NFEC-2020-02-260473
- 설치기관 (재)경남테크노파크
- 주소 경상남도 창원시 의창구 창원대로18번길 22재단법인 경남테크노파크
- 담당자 조승환 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
주식회사 루미시스
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모델 명
VK-X1100
내용연수10년
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구분
주장비
용도시험
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
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취득일
2020.01.22.
취득금액₩262,286,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩45,000
장비설명
본 장비는 공초점 레이저 현미경으로 광학현미경, SEM, 형상측정기, 표면 거칠기 측정기의 기능 및 특징을 모두 갖춘 측정 시스템으로 대면적 기판 전 면적에 대해 미세패턴 품질과 결함 분석이 가능
장비 구성 및 성능
- 스테이지 크기(스트로크): 1100㎜ⅹ1300㎜
- 관찰배율: 28,000배 이상(150ⅹ 렌즈 기준)
- 최소시야범위: 3600㎛ 이상(5ⅹ 렌즈 기준)
- 높이 측정 표시분해능: 0.5㎚(반복정도 σ: 50ⅹ 12㎚)
- 폭 측정 표시분해능: 1.0㎚(반복정도 3σ: 50ⅹ 50㎚)
- 정확도: 측정값의 ±2%이내