(주)에이아이엠
F20
11년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2020.01.08.
₩203,694,060
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
₩40,000
감광제 두께 측정장비의 박막두께 측정은 반사율을 이용해 두께를 측정하며, 입사광과 반사광의 보강/상쇄 간섭 스펙트럼을 측정하여 두께 값 측정 및 분석하는 장치이다.
빛이 박막을 통과 후 코팅층(밑에층) 에서 반사된 빛의 반사율에 따라 스펙특럼을 확인 후 두께를 산출함
(1) Main system
- 대응 기판 사이즈: 1300mm X 1300mm
- 유효 측정 사이즈: 1200 X 1200mm
- 기판 무게: ~100kg
- Pipe 용접 Frame Body
- 용접/절곡 Cover
- 양문형 Door Lock system
- Gigabit Ethernet 2CCD HDR Camera
- 기판 접합면 SUS Plate 적용
- 3색 외부 알람 기능/부저(Error Alarm)
- Height Meter Range: 100mm~200mm
- Stone Plate 200mm
- Passive Vibration Control, Air suspension
- X ,Y and Z Motor control: 10um Step
- DC Servo Type
- Max Velocity: 100mm/s
- Measurement speed: ≤2sec/point(Without Moving)
- Light source: External D2+Halogen
- 19inch Control Rack
(2) Laser Measurement System
- Thickness measurement Type
- Measurement Range: 1nm~ 40um
- Wavelength: 190nm ~ 1,100nm
- Power: 최대 0.5mW
- Resolution:1nm
- Sampling Rate: 200us
- 사용온도: 0~ +50℃
- 사용습도: 35~85%
- Case Material: SUS, Polycarbonate