보유장비현황
- 보유장비현황
- 위상전이 자외선 노광 시스템
- Phase Shift UV Lithography System
- i-Tube No. 1911-C-0298
- NTIS No NFEC-2020-01-260148
- 설치기관 (재)경남테크노파크
- 주소 경상남도 창원시 의창구 창원대로18번길 22재단법인 경남테크노파크
- 담당자 하종안 (T.0553514054)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
(주)필옵틱스
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모델 명
PES-130SHX
내용연수9년
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구분
주장비
용도생산
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표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
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취득일
2019.11.13.
취득금액₩988,765,600
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인증정보
없음
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기능
○ Wavelength range: I-line 기준 15mW ○ Intensity Uniformity: ±3 ~5 % ○ Top Side: 1,100mm X 1,300mm ○ Top Side 정렬 정밀도: max ± 2μm 이내 ○ 구현가능 선폭 - 크롬 마스크 노광 기준: 2μm(※Vacuum contact 기준) - 위상전이 마스크 노광 기준: 200nm
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장비 상세설명
1. 자외선 노광 공정을 이용하여 일정한 두께로 감광제를 도포한 대면적 기판(1.1m × 1.3m) 위에 균일하게 자외선을 조사하여 200nm급의 나노 패턴을 형성하는 공정 장비 2. 기존 대면적 노광기 광학계 구조에서 16 kW UV Lamp 이상 급의 UV LED 적용
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩200,000
장비설명
1. 자외선 노광 공정을 이용하여 일정한 두께로 감광제를 도포한 대면적 기판(1.1m × 1.3m) 위에 균일하게 자외선을 조사하여 200nm급의 나노 패턴을 형성하는 공정 장비
2. 기존 대면적 노광기 광학계 구조에서 16 kW UV Lamp 이상 급의 UV LED 적용
장비 구성 및 성능
ㅇ Wavelength range: I-line 기준 15mW
ㅇ Intensity Uniformity: ± 3~5 %
ㅇ Top Side: 1,100mm × 1,300mm
ㅇ Top Side 정렬 정밀도: Max. ± 2 ㎛ 이내
ㅇ 구현가능 선폭
- 크롬 마스크 노광 기준: 2㎛ (※Vacuum Contact 기준)
- 위상전이 마스크 노광 기준: 200 nm