(주)필옵틱스
PES-130SHX
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2019.11.13.
₩988,765,600
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
₩200,000
1. 자외선 노광 공정을 이용하여 일정한 두께로 감광제를 도포한 대면적 기판(1.1m × 1.3m) 위에 균일하게 자외선을 조사하여 200nm급의 나노 패턴을 형성하는 공정 장비
2. 기존 대면적 노광기 광학계 구조에서 16 kW UV Lamp 이상 급의 UV LED 적용
ㅇ Wavelength range: I-line 기준 15mW
ㅇ Intensity Uniformity: ± 3~5 %
ㅇ Top Side: 1,100mm × 1,300mm
ㅇ Top Side 정렬 정밀도: Max. ± 2 ㎛ 이내
ㅇ 구현가능 선폭
- 크롬 마스크 노광 기준: 2㎛ (※Vacuum Contact 기준)
- 위상전이 마스크 노광 기준: 200 nm