의생명센터

장비정보

제작사
마이다스시스템(주)
모델 명
MDA-400S

내용연수
9년
구분
주장비

용도
생산
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
취득일
2025.10.20.

취득금액
₩78,980,000
인증정보
없음
기능
웨이퍼에 감광액(Photoresist)을 얇게 코팅한 후 이 웨이퍼에 원하는 회로 패턴의 포토 마스크를 올려 놓고 정밀하게 정렬하여 자외선(UV)을 조사한 후, 현상과정을 거쳐 미세 회로 패턴을 얻을 수 있는 장치
장비 상세설명
마이다스시스템 MDA-400S는 연구·교육용에 적합한 합리적 가격대의 마스크 얼라이너로, PC/PLC 기반 레벨링 시스템을 채용해 정밀 정렬을 지원함. 최대 6인치(150 mm) 기판까지 공정이 가능하며, 콤팩트한 섀시에 방진 메커니즘을 기본 탑재해 소형 클린룸·연구실 환경에서도 안정적으로 운용할 수 있음. 제품은 6인치 수동형 모델인 MDA-400M-6와 동일 계열로 소개되며, 대학·연구소의 포토리소그래피 공정 교육과 연구에 활용됨.

웨이퍼에 감광액(Photoresist)을 얇게 코팅한 후 이 웨이퍼에 원하는 회로 패턴의 포토 마스크를 올려 놓고 정밀하게 정렬하여 자외선(UV)을 조사한 후, 현상과정을 거쳐 미세 회로 패턴을 얻을 수 있는 장치