보유장비현황
- 보유장비현황
- XR 광학부품 측정기
- XR Optical Component Measuring Machine
- i-Tube No. 2311-A-0131
- NTIS No NFEC-2023-11-292010
- 설치기관 한국광기술원
- 주소 광주광역시 북구 첨단벤처로108번길 9 한국광기술원
- 담당자 최희민 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Olympus
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모델 명
STM7-MF
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 공구현미경
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취득일
2023.11.23.
취득금액₩46,650,000
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인증정보
해당사항없음
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기능
1) 접안렌즈 : 10배 2) 측정 분해능 : 0.1 um(Z-axis stage) 3) 측정 범위(X, Y, Z axis) : X = 200 mm, Y = 200 mm, Z = 175 mm 4) 측정 정확도 : (3+0.02L) um 5) 검출기 해상도 : 600M 화소 6) 광원 : White LED
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장비 상세설명
본 장비는 가공된 XR 광학부품 및 일반 광학계 등의 외형/표면 검사 및 가공 공구의 형상, 광학 회절 소자 등 패턴 검사를 직관적으로 측정/평가 장비임.
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] ₩10,000
장비설명
본 장비는 측정 분해능이 0.1 um(Z-axis stage)으로 측정 범위(X, Y, Z axis)는 X = 200 mm, Y = 200 mm, Z = 175 mm이며, 측정 정확도는 (3+0.02L) um의 성능으로 가공된 XR 광학부품의 외형/표면 검사 및 가공 공구의 형상, 광학 회절 소자 등의 패턴 검사를 직관적으로 측정/평가 장비임.
장비 구성 및 성능
-장비구성 : 장비본체, 액세서리, 소프트웨어 및 하드웨어
-성능
1) 접안렌즈 : 10배
2) 측정 분해능 : 0.1 um(Z-axis stage)
3) 측정 범위(X, Y, Z axis) : X = 200 mm, Y = 200 mm, Z = 175 mm
4) 측정 정확도 : (3+0.02L) um
5) 검출기 해상도 : 600M 화소
6) 광원 : White LED