우주양자산업센터

Rohde&Schwarz

전기/전자장비 > 분석장비 > 벡터네트워크분석장비

없음

1. 초고주파 벡터 네트워크 분석기 (ZNA67) 정밀 선형 분석: 10 MHz ~ 67 GHz 기본 대역에서 2포트 아키텍처 기반 S-파라미터(S11, S21, S12, S22)의 크기 및 위상 정밀 측정 초광대역 동적 영역: 1 GHz ~ 16 GHz 대역에서 >129 dB(Spec) / 139 dB(Typ)의 넓은 다이내믹 레인지를 구현하여 미세 신호 분석 하드웨어 호환성: 내장형 LO(국부발진기) Port 및 IF(중간주파수) Port 하드웨어 옵션을 완벽 지원하여 외부 mmWave 컨버터 확장 최적화 2. 밀리미터파 주파수 확장 컨버터 (ZNA-Z110 / Z140) 초고주파 대역 확장: VNA 기본 주파수를 WR10(60~110 GHz) 또는 D-band/WR6.5(최대 140 GHz) 대역까지 완벽 확장 고감도 측정: 1 Hz IF 대역폭 기준 -120 dBm 이하의 우수한 수신 감도와 극도로 낮은 트레이스 노이즈(Trace Noise) 구현 3. 수동형 프로브 스테이션 시스템 (MB13M) 온-웨이퍼 매칭: 테라헤르츠(THz)급 마이크로 칩 및 미세공정 RF 부품 패드에 다이렉트 접촉 가능한 고정밀 수동 프로브 메인바디 정밀 위치 제어: 마이크로미터 단위의 미세 조절이 가능한 조작기(Manipulator) 및 4인치 앰비언트 척(Chuck) 무빙 스테이지 연동 4. 광학 및 보정 컴포넌트 고배율 비전 모니터링: 4K@1080p 60FPS 사양의 CCD 줌 카메라와 15인치 모니터를 통해 300배율의 프로브 팁-패드 정렬 환경 제공 오차 보정(Calibration): CS 시리즈 정밀 RF 교정 키트를 지원하여 고주파 환경에서의 케이블 및 프로브 팁단 기생 성분(Error) 완벽 제거

밀리미터파 대역 다이렉트 확장 및 신호 무결성: 본 시스템은 67GHz 대역의 프리미엄 VNA(ZNA67)에 고성능 mmWave 주파수 확장 컨버터를 다이렉트로 연동하여, 차세대 위성 및 6G 통신에서 요구되는 초고주파 소자(LNA, Mixer, Filter 등)를 110GHz~140GHz 대역까지 공백 없이 연속 측정할 수 있도록 구성되었습니다. 시간 영역 분석(Time Domain)을 통한 불연속점 검출: 내장된 시간 영역 분석 및 하드웨어 TDR 기능을 통해, 미세 부품 내부의 임피던스 변화와 전파 반사 지점의 물리적 위치를 시간/거리 축으로 정밀 시뮬레이션 및 추적합니다. 온-웨이퍼(On-Wafer) 초정밀 측정 에코시스템: 고성능 현미경(300배율) 시스템과 진공 슬라이딩 레일 기반의 포지셔너 홀더가 결합되어, 미세 나노 공정 칩 레벨에서도 GSG(Ground-Signal-Ground) 타입 고주파 프로브 팁(40, 67, 110GHz 대응)의 정밀 안착을 지원하며 접촉 불량으로 인한 측정 오차를 최소화합니다. SCPI 레코더 기반 자동화 테스트 런타임: 장비 자체에 SCPI 레코더 기능이 탑재되어 실무자가 UI에서 조작한 측정 시퀀스를 원격 제어 자동화 스크립트로 즉시 변환하며, 다량의 부품 전수 검사 시 테스트 처리 속도를 획기적으로 단축시킵니다.