마이크로 디스플레이 개발 지원센터

(주)신안시스템

기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 유기금속화학증착장비

없음

-. System Description : Evaporation & encapsulation system for fabricating Micro OLED on 8 inch size wafer -. System Operation : Evaporation Process :1 Glass automatic operationEncapsulation Process : Semi-Automatic operation -. Display Resolution : 3,000ppi 이상 (Maker사에서 Mask 제작 및 Sample 제작 후 검수) -. Wafer Size : 8”Wafer (Ø200mm±0.2mm Wafer) -. Chamber Configuration : TM, LL/Stock, PT, 3 OC, 1 MC, Glove Box(3 glove 이상) -. Robot Accuracy : ≤± 500 ㎛ -. Align Accuracy : Spec. ≤±1.0㎛ (Vision Align) : Organic 3 chamber≤±10 ㎛ (Vision Align): Metal 1 chamber

- Organic chamber 3식 ∙ 기판 loading 크기 8인치 이상 ∙ Dry pump와 연결 ∙ Chamber 1식당 cryo pump 1식 ∙ Chamber 1식당 증착 source 8개 이상 ∙ Aligner ∙ 증착 uniformity 3% 이내 - Metal chamber 1식 ∙ 기판 loading 크기 8인치 이상 ∙ Dry pump와 연결 ∙ Cryo pump 1식 ∙ Thickness controller 1식 ∙ 증착 source 4개 이상 ∙ Aligner ∙ 증착 uniformity 5% 이내 - PT(plasma treatment) chamber 1식 ∙ Dry pump와 연결 ∙ Turbo molecular pump (TMP) 1식 ∙ 가스 : N2, O2, Ar - LL(load lock) 1식 ∙ Dry pump와 연결 ∙ Cryo pump 1식 ∙ Cassette : Substrate holder slot 4개 이상, Mask holder slot 4개 이상 - Glove box 1식 ∙ Glove 3수 이상 (양수용 glove) ∙ Purifier 포함 ∙ Antechamber 1개 및 mini antechamber 1개 ∙ Glass encapsulation system 포함