정밀가공 종합기술지원센터

○장비의 구성
1. 주장비
1) 레이저/송출기
2) 레이저/수신기
3) 캘리브레이션 소프트웨어 키트
4) 빔 슈라우드
5) 90도 브라켓
6) 배터리 리튬 폴리머 3.7V
7) 마그네틱 베이스
8) 클램프 블록
9) M8 필러
10) 기포 수준기
11) 케이블 클램프
2. 부속장비
1) 연장대(150, 200, 250, 350, 450mm)
2) 연장대 커넥터
3) 마그넷
4) 연장대 정렬 보조지그
5) 선반 어뎁터
6) 장착판 (steel)
7) 육각드라이버
○ 성능
1. 리니어 측정
- 측정 정확도 :±0.5ppm(환경보정적용)
- 분해능 : 1nm
- 측정범위 : 0~4m
2. 앵귤러 측정(피치/편요각)
- 정확도 :0.004A±(0.5 0.004A ±(0.5 μrad +0.11M μrad)
(A = 표시된 오차 판독값) (M = 측정 거리, m)
- 분해능 : 0.03μrad　　
- 측정범위 :±500μrad
3. 직진도
- 측정정확도 : 일반범위 ±0.01A±1um
확장범위 ±0.01A±1.5um
(A = 표시된 오차 판독값)
- 분해능 : 0.25um
- 측정범위 : 일반범위±50um 반경
확장범위±250um 반경
4. 롤
- 정확도 : ±0.01A±6.3μrad
(A=롤 오차μrad)
-분해능 : 0.12μrad
-측정범위 :±500μrad