보유장비현황
- 보유장비현황
- 주사전자현미경
- Scanning Electron Microscope
- i-Tube No. 2202-A-0229
- NTIS No NFEC-2022-07-280069
- 설치기관 중소조선연구원
- 주소 부산시 강서구 송정동 1713-4
- 담당자 김동윤 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
SEC
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모델 명
SNE-4500M Plus
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
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취득일
2022.02.21.
취득금액₩121,000,000
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인증정보
없음
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기능
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장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] ₩80,000
장비설명
* SEM (Scanning Electron Microscope)
- 미세 전자빔을 시편의 정해진 영역에 주사하여, 표면의 3차원 미세형태, 미세조직, 화학조성, 원소분포 등을 분석할 수 있는 현미경
* EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)
- SEM에 부착되어 시료 표면의 성분을 분석하는 장비로써 SEM에서 방사된 입사 전자(Incident Electron Probe)가 시료에 충돌하면서 발생되는 다양한 signal 중 특성 X-ray를 검출하여 정성 및 정량 분석 가능
장비 구성 및 성능
* SEM
1. 주요기능
1) 분해능(SEI) : 가속전압 30kV에서 5nm
2) 배율 : 20x to 150,000x
3) 가속전압 : 1kV to 30kV
2. 전자 수집
1) 2차 전자(Secondary Electron Detector)
2) 후방산란 전자(Back Scattered Electron Detector)
3) SE+BSE Merge Images / SE&BSE Split Image
3. 스테이지 시스템
1) X,Y,R,Z,T : 5-axis Fully Motorized Stage
2) 최대 샘플 크기 : 80㎜ in Diameter, 50㎜ in Height
3) Working Distance : 0 to 40mm
4) Auto Calibration Stage system : 5-axis Home potion setting.
5) 5-axis Stepping Motor 채택 : 정밀도 3μm 이내
* EDS
1. System Configuration
1) 모든 EDS 분석기능 (SEM 이미지 획득, 스펙트럼 정성정량, Mapping & Linescan)
2) 중첩 HPD Peak 구분 기능
2. Specification
1) 정성․정량 분석기능
- Unknown Sample에 대한 성분과 함량 확인 기능
2) Mapping 기능
3) Multi-point Analysis 기능