보유장비현황
- 보유장비현황
- 다중 증착원 물리적 코팅장비
- PVD Equipment with Multiple Deposition Sources
- i-Tube No. 2012-C-0118
- NTIS No NFEC-2021-01-267161
- 설치기관 (재)대구기계부품연구원
- 주소 대구광역시 달서구 성서공단로11길 32(재)대구기계부품연구원
- 담당자 신정호 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
CemeCon AG
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모델 명
CC800 HiPIMS
내용연수11년
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구분
주장비
용도시험
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
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취득일
2020.12.16.
취득금액₩1,130,932,089
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩300,000
장비설명
본 장비는 고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링(High-Power Impulse Magnetron Sputtering) 장치로 우수한 성능의 평활한 코팅이 가능하여 절삭공구의 수명과 가공성능을 향상할 수 있음.
장비 구성 및 성능
- 증착원 구성 : 4개의 HiPIMS 및 2개의 DC 스퍼터링 증착원
- 코팅면적 : φ400xh400 mm
- 코팅속도 : 최대 3μm/h
- 공정시간 : 4.5시간(3μm AlTiN 코팅 기준)
- Substrate table : 6개 planetary drives 및 3-fold rotation
- 코팅공구 갯수 : 드릴 1,800개(φ6mm×60mm 기준), 인서트 4,920개(12.7mm×3.5mm 기준)
- 최대 기판온도 : 600 °C 이상
- 코팅공정 자동화 시스템