보유장비현황
- 보유장비현황
- 실험실용 레이저 패터닝장비
- Laser Patterning Machine
- i-Tube No. 2005-C-0034
- NTIS No NFEC-2020-05-262836
- 설치기관 한국화학연구원
- 주소 대전시 유성구 장동 100
- 담당자 함동석 (T.0428607912)
- 매뉴얼
-
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주)코썸사이언스
-
모델 명
KOS-μ-LAB-NV12pGOFCS
내용연수5년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2020.05.06.
취득금액₩169,586,800
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료₩100,000
장비설명
○ 원리
- 레이저 광원에서 Picosecond Laser가 조사되어 Beam Expander, Bead Shaper ,Mask, Aperture을 통과하면서 Laser빔이 가공되며, 가공된 Laser는 Scanner로 들어감.
- Scanner 내부의 광학계(mirror등)을 활용하여, Laser빔의 위치 및 세기등을 조절함.
- 조절된 Laser는 가공해야할 샘플에 조사되어, 미세 패터닝이 이루어짐.
○ 특징
- Picosecond Laser을 사용하기 때문에 기재에 열손상을 적어, 유연기재에 사용가능함.
장비 구성 및 성능
○ Laser Source
- 파장 : 532 nm
- Duration time : Picosecond
- Power : 10W
○ 가공 크기
- Stage Table : 180mm X 180mm
- Vision Allignment System (레이져 이동 Type)
- Scanner Size :180mm X 180mm
○ 정밀도
- Overlay position accuracy (±10㎛)