Inoue Kinzoku Kogyo
77T-08-36B
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2011.09.30.
₩141,900,000
기관의뢰
고정형
일별
₩4,000,000
-. 화학소재종합센터 구축사업의 1차년도 중점 추진 설비로서, 소재 적합성을 평가하기 위해 도입 필요.
-. 기능성 코팅 소재 및 기재의 평가를 위한 필수 공정 장비이며, 고분자 필름 기반 습식 코팅 신제품의 개발 지원과 신규 습식 코팅 공정 기술 개발을 목적으로 하는 파일롯 규모의 코팅설비임.
-. 다양한 물성의 코팅액을 각각의 유변 물성에 적합하게 박막부터 후막까지 고정밀도로 Wet Coating 구현이 가능해야 함.
-. 열경화성 수지 및 UV 수지를 모두 테스트 할 수 있어야 하며, Solidification 후에 보호필름 부착 장치가 필요함.
-. 코팅 Head가 탈장착이 가능해서 다른 타잎으로의 교환이 용이해야 하며, 신규 코팅 공정 개발 및 적용이 가능해야 함
-. 설비 구성 : 권출/ Infeed/ 기재필름 전처리/ 코팅 Head/ 건조/ UV경화/ 라미/ Out feed/ 권취부
-. 주요 성능 : 코팅 구현 두께 : 1~500㎛ (wet), 70nm ~ 100㎛ (dry)
-. 열경화성 , UV 경화성 수지 적용 가능