플렉서블전자소재센선(FEMC)

<기본 기능 및 구성>
1. 플렉서블 태양전지 모듈 제조를 위한 레이저 패턴 형성과 플렉서블 기판과 필름, 적용 박막의 절단 가공
2. 플렉서블 기판 및 소자 상 레이저의 국부족인 조사를 통한 정밀 미세 패터닝 공정 수행
(300mm×300mm 이상 기판 대응 가능하되, 소형 개별 샘플 대응이 가능하여야 함)
3. 플렉서블 태양전지 모듈 및 다양한 플렉서블 소자 제작 시 플렉서블 기판 및 박막의 국부적인 영역에 레이저 조사를 통한 패터닝 및 스크라이빙 공정 수행
4. 플렉서블 기판 및 유리기판 모두 적용 가능한 투명전극, 액티브 소재, 금속 전극 미세 패터닝 형성 공정
5. 플렉서블 기판 및 LLO (laser lift-off) 공정과 연계한 셀 패턴 형성 또는 절단 공정
6. 금속, 산화막, 유기막, 복합막 등 다양한 플렉서블 소자 공정 적용 소재의 레이저 패터닝과 모듈 제조 공정
7. 시스템은 레이저 가공 본체부 (1ea), 2파장 이상 레이저 본체 (1ea), 레이저 컨트롤부 (1ea), Chiller 및 배기부 (1ea)로 구성
8. 레이저는 1064nm (IR)과 532nm (Green) 또는 355nm (UV) 레이저의 2파장 이상 (3파장 권장)의 멀티 파장을 선택적으로 사용할 수 있는 레이저로 구성 (IR 영역의 평균 power는 20~50W 수준과 Green/UV의 경우 5~10W 이상 수준이 되어야 함.
9. Vision align 기능 적용으로 기판과 패턴의 위치 정밀도 확보 필요