보유장비현황
- 보유장비현황
- R2R 다층 투명전극 증착장비
- Roll to roll transparent electrode multilayer coater
- i-Tube No. 1708-C-0158
- NTIS No NFEC-2017-08-239431
- 설치기관 한국전자통신연구원
- 주소 대전 유성구 가정로 218
- 담당자 임정욱 (T.042-860-6704)
- 매뉴얼
-
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
주식회사 아이작리서치
-
모델 명
iRV RtR 300
내용연수12년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
-
취득일
2017.08.17.
취득금액₩745,637,300
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료₩350,000
장비설명
전도성 투명 산화막과 금속 박막을 증착하기 위한 공정장비로서, 폭 300 mm이상의 유연 기판에 roll-to-roll 인라인 연속공정 방식으로, 또한 6“ wafer 및 100x100 mm 이상의 경질 sheet 기판에 박막을 증착 시스템 이다
장비 구성 및 성능
시스템은 ALD Chamber(1ea)와 Sputter Chamber로 구성 되어있으며, (2ea),Pre-cleaning Chamber (1ea), Buffer Chamber (1ea), Unwinder (1ea), Rewinder (1ea), 진공펌프 및 시스템 제어부로 구성되어있다. 물품에 성능은 다음과 같다
- 공정온도 30 ~ 350 ℃
- 박막 두께 균일도 < 5% (경질기판의 경우 100 x 100 mm 기준)
- 박막 조성 균일도 < 5% (경질기판의 경우 100 x 100 mm 기준)