보유장비현황
- 보유장비현황
- 집속이온빔 주사 전자 현미경
- Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope
- i-Tube No. 2102-A-0180
- NTIS No NFEC-2021-03-269047
- 설치기관 한국세라믹기술원
- 주소 경상남도 진주시 소호로 101(충무공동)
- 담당자 장정호 (T.0439131510)
- 매뉴얼
-
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
ThermoFisher Scientific
-
모델 명
Helios 5 UC
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
-
취득일
2021.02.26.
취득금액₩1,032,302,894
-
인증정보
없음
-
기능
주사전자를 이용한 현미경상의 이미지 관찰이 가능할 뿐만 아니라 플라즈마를 사용하여 대 면적 가공이 가능한 집속이온빔 시스템이 있는 장비로, 단면 가공 및 분석, 3차원 이미징 데이터 처리가 가능함
-
장비 상세설명
주사전자를 이용한 현미경상의 이미지 관찰이 가능할 뿐만 아니라 플라즈마를 사용하여 대 면적 가공이 가능한 집속이온빔 시스템이 있는 장비로, 단면 가공 및 분석, 3차원 이미징 데이터 처리가 가능함
장비 사용법
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료₩210,000
장비설명
주사전자를 이용한 현미경상의 이미지 관찰이 가능할 뿐만 아니라 플라즈마를 사용하여 대 면적 가공이 가능한 집속이온빔 시스템이 있는 장비로, 단면 가공 및 분석, 3차원 이미징 데이터 처리가 가능함
장비 구성 및 성능
○ Electron optics
1) Schottky Emitter
- 1.4nm at 1kV
- 1.6nm at 200V
- 0.7nm at 15kV
- 0.6nm at 30kV (STEM mode)
2) Beam Current: 3pA - 100nA
3) Acceleration Voltage: 0.02 – 30kV continuously variable in 10 volt
step
4) 12x – 2,000,000x
5) Baem Shift: For precise adjustment of image position at high
magnifications 200 µm (±100 µm) at 20kV, WD=8.5mm
6) Electromagnetic/electrostatic objective lens system with water cooling
for best thermal stability and reproducibility