보유장비현황
- 보유장비현황
- 고분해능 광전자 응용표면 분석장비
- Xray photoelectron spectroscopy
- i-Tube No. 1102-A-0259
- NTIS No NFEC-2011-02-142361
- 설치기관 한국세라믹기술원
- 주소 경상남도 진주시 소호로 101(충무공동)
- 담당자 이선홍 (T.0557922763)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Ulvac
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모델 명
PHI 5000 Versaprobe
내용연수4년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 방사선발생/측정장비 > X-선발생기
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취득일
2011.02.16.
취득금액₩1,038,713,750
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩10
장비설명
표면 원소에 대한 정성/정량 분석
Beam resolution: less 10 um to 200 um
표면두께별 정성/정량 분석
시편 표면의 화학적 결합 상태 및 원소 분석
Depth resolution: 1 to 10 nm
장비 구성 및 성능
X-ray source : X-ray Monochromatro (Al Ka)
Beam size: 10 to 100 um
Depth resolution : 1 to 10 nm
기본압력 : 1.1 * 10-7 Pa
* 2017년 1월 2일 ~ 2월 28일 산업기술개발장비 성능향상사업 수행
-Al single anode -> Al/Mg dual anode 업그레이드 완료
-장비업그레이드 전후 사진 동일(기타정보 사진첨부)