보유장비현황
- 보유장비현황
- SEM시편제작용 Sputter
- Sputter machine for SEM specimen preparation
- i-Tube No. 1904-B-0095
- NTIS No
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 충청남도 천안시 서북구 양대기로길 89
- 담당자 김효규 (T.)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Quorum Technologies Ltd
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모델 명
SC7620
내용연수11년
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구분
부대장비(부가장치)
용도분석
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표준 분류
화합물 전처리·분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 달리 분류되지 않는 반응/혼합/분쇄장비 (주장비: EPN0151539)
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취득일
2019.04.24.
취득금액₩13,200,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩2,750
장비설명
○ “스퍼터링타겟과 챔버가 장착된 본체”와 “진공배기펌프”가 진공호스로 상호간에 연결된 시스템으로 구성
○ 본체
- 파워서플라이, 컨트롤 패널, 스퍼터링 타겟 챔버로 구성된 장치
○ 진공펌프
- 스퍼터 챔버 내부의 대기를 배기시킬 목적으로 장착되는 로터리 타입의 펌프
장비 구성 및 성능
○ 스퍼터 챔버 크기 : 100mm dia.×100mm high 이상
○ 스퍼터 타겟의 종류 : Pd, Au 또는 합금 타겟
○ 스퍼터 타겟의 조절거리 : 약 45mm
○ 스퍼터 타겟의 형상 : 디스크 타입
○ 스퍼터 출력 : DC 800V at 20mA 급
○ 증착속도 : 분당 6nm at 25mA 급
○ 초기 진공도 : 약 10-2mbar
○ 사용가능한 가스 : 아르곤 (Ar) 또는 대기 분위기
○ 진공펌프 : 로터리 타입 (배기량 분당 25리터 이상)