보유장비현황
- 보유장비현황
- 전계방출 전자탐침미량분석기
- Field Emission Electron Probe Micro Analyzer
- i-Tube No. 1605-A-0176
- NTIS No NFEC-2016-06-210169
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 충청남도 천안시 서북구 양대기로길 89
- 담당자 조용재 (T.053-635-6535)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
JEOL
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모델 명
JXA-8530F
내용연수5년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
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취득일
2016.05.31.
취득금액₩652,437,956
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩90,000
장비설명
전계 방출형 미소 탐침분석기(FE-EPMA)는 전자현미경과 같이 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 조사하여, 시편에서 발생되는 여러 전자 정보 중 특성 X-선의 파장을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석을 할 수 있는 표면분석 장치이다. 또한, 원소분석 이외에 이차전자 및 반사전자를 검출하여 Scanning영역에 대한 2차전자 이미지와 후방산란전자 이미지를 통한 관찰기능을 가지고 있다.
장비 구성 및 성능
- Electron Gun: Schottky field emission gun
- Number of WDS: 3ch
- Detectable element range: 5B to 92U
- Max. Specimen size: 100mm x 100mm x 50mmH
- SE image resolution: 3nm(at 30kV, 1x10-11A, WD=11mm) and 4nm(at 10Kv, 1x10-11A, WD=11mm)
- Accelerating Voltage: 1 to 30kV(0.1kV step)
- Probe current range: 1x10-12 to 5x10-7A(at 25kV)
- Probe Current Stability: ±0.3%/h at 10kV, 5x10-8A