보유장비현황
- 보유장비현황
- 전계 방사 주사전자현미경
- FE-SEM
- i-Tube No. 1305-A-0292
- NTIS No NFEC-2013-06-180091
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 충청남도 천안시 서북구 양대기로길 89
- 담당자 조용재 (T.053-635-6535)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Hitachi
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모델 명
SU8020
내용연수5년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
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취득일
2013.05.07.
취득금액₩517,000,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩70,000
장비설명
아주 미세한 Gun Electron Source(전자원)으로 부터 인가된 일차 전자가 시료에 조사되면서 발생되는 다양한 전자 (Secondary Electron, Backscattered Electron, Cathode Luminescence, etc.)를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 확대 ,관찰하는 기기로서 일반 광학현미경과 비교하여 분해능과 집점심도가 우수하여 sample의 표면관찰은 물론 조성등을 관찰함으로서 시료의 특성 ,표면구조 및 결합을 관찰하는데 사용되는 분석기기이다. 특히 낮은 가속전압으로도 고분해능및 고배율을 얻을수 있는 기기이다.
장비 구성 및 성능
○ Cold field emission type
○ 해상도 : 1.0nm at 15kV / 1.3nm at 1kV
○ 배율
- on photo mode, 20 - 2,000,000
○ 가속전압
- standard mode: 0.5 – 30kV
- deceleration mode: 0.1 – 2.0kV
○ Electron Optics
- 조사 전류: 1pA – 2nA
- 대물렌즈 조리개: 4종류 중 선택가능 (100-50-50-30μm)
- Secondary Electron Detector: Top/Upper/ Lower
- Backscattered Electron Detector 추가 장착: Semiconductor type
○ 시편 관측
- X: 0-50mm; Y: 0-50mm; Z: 1.5-30mm
- Tilting: -5°- +70°
- Rotating: 360°(연속)
- 최대 허용 시편 크기 : 100mm dia.
- fully 5-axis motor driven with linked magnification sensor
○ Energy Dispersive Spectrometer
- 해상도 : 125eV 이상 (Mn Kα)
- 측정 면적: 20mm2
- 측정 원소 범위: 4Be to 94Pu
○ 절연체 재료 분석을 위한 표면 코팅
- Ion Sputter Coater incl. Pt target
- Carbon Coating Unit