ࡱ> a R hbjbjڥڥ4R\R\ 8 8 8$"TOvvvvv NNNNNNN$Q7TXOEOvvHaOp p p vvNp Np p JH\pLvp]zh@`JBNwO0OJT~TpLpLTT$6Mp OOp OT8 @ x:  l  Ɍ, , Œ ٳ 0 1. < : Ɍ ,, Œ ٳ 0 2. ɷ : 1 set 3. | t D \1 X 5i 0 D tǩX 40<,   D, 5 ̸ X Ɍ//Œ h ɷD \ ٳ !XՔp . t D 0X lа D t ļ $Ĭ ޹ MS Windows 0X ոƴ x0јtǤ| Xp t X0 l´ ոƴŔ 0Ĭ ȴ,  $, , , T ι@ D \. \ t ¤\@ ) pt0 l ¤\ 0  \ pt0 ȡ0D hX L. 0: * !D \ 3X x 0| ȩX X | h. *TC @X H1D ¨ Dynamic Flow Compensation ȩ. *\ͨ x (IR) 0  X H1D ¨ drift-free \ .. *ନ( ̌ ¤\@ ٳ ̌| t < Ŕ XֽD . 4. 0 $Ĭ 4.1 ): 0\ ), \ 3000 C . 4.2 0\| ̌XՔ ٳH ٳ < 0D \ ̌0 ). 4.3 0: /Œ(I.R. 0), Ɍ(ijij ) 0) 4.4 ٳ  pt0  t: 0X lа x0јtǤ@ %  ppm @ t ). 4.5  6X t ) 19 0X lа. 5. 5.1  : - : 0.05 ppm <" 5.0% - Ɍ: 0.05 ppm <" 3.0% - Œ: 0.1ppm ~ 2,500ppm 5.2 Uij: - / Ɍ: 0.025 ppm or 0.3% RSD - Œ: 0.05 ppm or 2% RSD 5.3 ij : Ɍ & ,Œ : 0.001 ppm t 5.4 : - \̸ : @ xǸ  xǸ, ٳ, ij 5.5  : (P |/outgas/H h) - : 85 - Ɍ: 100 - Œ: 90 5.6 ̸ɷ: 1 g 5.6.1 8 : 0-120 g 5.6.2 ij: 01 mg 5.6.3 \ (: 0.1mg tX 5.6.4 HT : 3 tǴ 5.7 0: - : 8X ٳ Ǵ(ijp x 0 (ų Ǵ 0).. - Ɍ : ijij 0 (ų (ij ȴ 0  $X) - Œ : ٳ Ǵ(ijp x 0 (ų Ǵ 0).. 5.8 DՔ\ - ά : h (ij 99.99%, 20 psi10%) - U : 0  Ɍ (40psi10%) 5.9 ɷ - ά : 485cc/minute - U : 280cc/minute 5.10 \: - 0\(Electrode Impluse) - (ij : 7.5kw \ ,\ 3000 C. -  \X % @ 8  t \)Ȳ. (! (ij ¤\ h) -  %\ ̌0 tǤ tX 5D \ . - ɰ , ନ(  ̳t ɰ( ɰ-3.2 L X ) 5.11 % l m - 0 : 230VAC(10%) - 0@ Ȳ0: 230VAC(10%) 5.12 ȴ ¤\D \ PC 5.12.1 Xܴƴ 5.12.1.1 0 : CPU : Core2 Duo 1.7GHz t RAM : 1GB RAM t ٳ ¤\ : Windows 7 Xܴƴ : USB(2.0)  2 X ¬ Ӹ Xܴ ¸ ܴ|t : 320 GB t ODD : DVD-Multi t LAN : 10/100Mbps (Ӥ¸ tT7 5.12.1.2 0X lа x0јtǤ  ոƴ@ 19 0X lа Ȳ0. 5.12.1.3 pt0 ȥ - 4 ]: x \Ĭ L - ]: x \Ĭ L 5.12.2 Qǩ ոƴ 5.12.2.1 ٳ  Ux. 5.12.2.2 T D@ 8 tհD \ Ǵ ¤\. 5.12.2.3 ٳ  ٳ ! 5.12.2.4 ٳ ٳ   5.12.2.5 \ @Ƹ, X,  U X\ \ (ij ȴ 5.12.2.6 Standard l  l $ 5.12.2.7 *,248>BHѽѩѩ}nXA+*hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJ-hJ h_5CJOJPJQJ\^JaJo(*hJ h_5CJOJPJQJ\^JaJhJ h0< OJPJQJ^J*hJ h0< 5>*CJ(OJPJQJ^JaJ(*hJ h_5>*CJ(OJPJQJ^JaJ('hx,5>*CJ(OJPJQJ^JaJ(o('hJ h0< 5CJ(OJPJQJ^JaJ(-hJ h_5>*CJ(OJPJQJ^JaJ(o(-hJ hw5>*CJ(OJPJQJ^JaJ(o(468lnP D " D F X WDd`gdJ ^gd' gd.VDgdG$a$HLPTbjntx~}fS?,?$hJ 5CJOJPJQJ^JaJo('hJ h0< 5CJOJPJQJ^JaJ$hJ h0< CJOJPJQJ^JaJ-hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJo(-hJ hQ 5CJOJPJQJ\^JaJo(-hJ h_5CJOJPJQJ\^JaJo(*hJ h_5CJOJPJQJ\^JaJ*hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJ$hx,5CJOJPJQJ^JaJo(*hJ h_5CJOJPJQJ^JaJo(      0 8 N P x z 8 B D F ̽ۮۮmۮۮ[#hJ h|tbOJPJQJ^JaJo(#hJ hJ OJPJQJ^JaJo( hJ hx OJPJQJ^JaJh}OJPJQJ^JaJo(hx,OJPJQJ^JaJo(hR`OJPJQJ^JaJo(hNOJPJQJ^JaJo(hl1OJPJQJ^JaJo(#hJ hZ[OJPJQJ^JaJo(#hJ h_OJPJQJ^JaJo(F " $ , ǶxdPP?-dP#hJ h4DOJPJQJ\^JaJ h.OJPJQJ\^JaJo(&hJ h= OJPJQJ\^JaJo(&hJ hFxOJPJQJ\^JaJo(*hJ h4D5CJOJPJQJ\^JaJ'hJ 5CJOJPJQJ\^JaJo('hJ h0< CJOJPJQJ\^JaJ hJ h0< OJPJQJ^JaJ hR`OJPJQJ\^JaJo(&hJ hJ OJPJQJ\^JaJo(&hJ hZ[OJPJQJ\^JaJo(, . 6  4 B D F L ǵǒ~jǵ[E*hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJh0< 5CJPJ\^JaJ&hJ h]OJPJQJ\^JaJo(&hJ h@OJPJQJ\^JaJo(h.OJPJQJ\^JaJ&hJ hFxOJPJQJ\^JaJo(#hJ h4DOJPJQJ\^JaJ h.OJPJQJ\^JaJo(&hJ h= OJPJQJ\^JaJo(&hJ hGOJPJQJ\^JaJo(L V X ` n t z |   & 4 < > @ H xgggU#hJ hFxOJPJQJ\^JaJ!hx,CJOJPJQJ^JaJo(!h\CJOJPJQJ^JaJo($hJ h]CJOJPJQJ^JaJ!h.CJOJPJQJ^JaJo('hJ h]CJOJPJQJ^JaJo('hJ h0< CJOJPJQJ\^JaJ*hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJ'hJ 5CJOJPJQJ\^JaJo( @ Bp4H~ &VDWD`&gdJ VDWD`gdx, VDWD`gdJ WDd^`gdJ ^XVDxWDj^X`gdE!HVDnWD8^`HgdJ  VDnWD$^ `gdx, _WDq`_gdx,H Ƶ~kWA0 hJ h0< OJPJQJ^JaJ*hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJ'hJ 5CJOJPJQJ\^JaJo($hJ 5CJOJPJQJ\^JaJ$hJ hE!CJOJPJQJ^JaJ#hJ hZROJPJQJ\^JaJ#hJ h]OJPJQJ\^JaJ h' OJPJQJ\^JaJo(&hJ hCLOJPJQJ\^JaJo(#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ&hJ h]OJPJQJ\^JaJo(FJnp$̽zhVHHVHhx,OJPJQJ^JaJ#hJ hx,OJPJQJ^JaJo(#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ h\OJPJQJ\^JaJo(#hJ h]OJPJQJ\^JaJ hJ hx,OJPJQJ^JaJhx,OJPJQJ^JaJo(h0< OJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ h]OJPJQJ^JaJo( hJ h]OJPJQJ^JaJ$&(*24>DFHLNRV\^jlvxfUA/#hJ h0< OJPJQJ^JaJo(&hJ hhOJPJQJ\^JaJo( hx,OJPJQJ\^JaJo(#hJ hhOJPJQJ\^JaJ#hJ h`UOJPJQJ^JaJo(&hJ h`UOJPJQJ\^JaJo( h\OJPJQJ\^JaJo(#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ hJ h0< OJPJQJ^JaJ hJ hx,OJPJQJ^JaJhx,OJPJQJ^JaJo(hx,OJPJQJ^JaJv|~ʹkZIkI7k7k#hJ hhOJPJQJ\^JaJ h' OJPJQJ\^JaJo( hvOJPJQJ\^JaJo(&hJ hOOJPJQJ\^JaJo(&hJ hhOJPJQJ\^JaJo(#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ&hJ h`UOJPJQJ\^JaJo( h\OJPJQJ\^JaJo(#hJ h`UOJPJQJ\^JaJ hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ h`UOJPJQJ^JaJo(,BZn 2F -VDWD`-gdvWDR^`gdvWD^^`gd(k. JVDWD`JgdJ pWD^`pgdvpWD^`pgdJ WDd^`gdJ VDWD`gdv "(*,0@BFXZlnxǶǶۤpaRA0 h' OJPJQJ\^JaJo( hvh0< OJPJQJ^JaJhvOJPJQJ^JaJo(h0< OJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ hOOJPJQJ^JaJo( hJ hhOJPJQJ^JaJ#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ hvOJPJQJ\^JaJo(&hJ hvOJPJQJ\^JaJo(#hJ hvOJPJQJ\^JaJ#hvhvOJPJQJ\^JaJ02<DFJNRTڥo]L:#hJ hhOJPJQJ^JaJo( hJ hhOJPJQJ^JaJ#hJ heOJPJQJ^JaJo( hJ heOJPJQJ^JaJ hJ h0< OJPJQJ^JaJ&hJ heOJPJQJ\^JaJo(#hJ hhOJPJQJ\^JaJ#hJ hOOJPJQJ\^JaJ h\OJPJQJ\^JaJo(#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ&hJ hOOJPJQJ\^JaJo(TVï{lZIZ:'$hvh0< CJOJPJQJ^JaJh(k.OJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ heOJPJQJ^JaJo(hvOJPJQJ^JaJo( hJ heOJPJQJ^JaJ!hvCJOJPJQJ^JaJo(#hJ hH OJPJQJ^JaJo('h,hvh(k.CJOJPJQJ^JaJo('h,hvh(k.CJOJPJQJ\^JaJ*h,hvh(k.CJOJPJQJ\^JaJo($h(k.CJOJPJQJ\^JaJo( ,PRrtvx̽̽ޘq_N<*#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ#hvhvOJPJQJ\^JaJ!hvCJOJPJQJ^JaJo(#hJ hvOJPJQJ^JaJo('h,hvhvCJOJPJQJ^JaJo($hvCJOJPJQJ\^JaJo(*h,hvhvCJOJPJQJ\^JaJo(hmQOJPJQJ^JaJo(h(k.OJPJQJ^JaJo(#hJ heOJPJQJ^JaJo(hvOJPJQJ^JaJo(#hJ hmQOJPJQJ^JaJo(RvxF\FWD^`gdvWD^`gdJ WD`gdJ WDd`gdJ WDd^`gdJ WDR^`gdvVDgdv &VDWD`&gdJ .DFPZnt (*.2B췥oYoYoYoHڥ h(k.OJPJQJ\^JaJo(*hJ heCJOJPJQJ\^JaJo('hJ h0< CJOJPJQJ\^JaJ hJ hO@OJPJQJ^JaJ hJ heOJPJQJ^JaJ#hJ heOJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ heOJPJQJ\^JaJ#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ&hJ heOJPJQJ\^JaJo(BDJ*.HLNTVZ߾͛͛ߛvbO$hJ h0< CJOJPJQJ^JaJ'hJ hmQCJOJPJQJ^JaJo($hJ hzCJOJPJQJ^JaJ#hJ h6OJPJQJ^JaJo(#hJ hZ=$OJPJQJ^JaJo( hJ hryOJPJQJ^JaJhvOJPJQJ^JaJo(#hJ heOJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJh(k.OJPJQJ^JaJo(Nl2V2J^gdz<_^VDhWD^`gdJ HWD~^`HgdJ WD^`gdJ WDd^`gdJ WDd`gdJ FVDWD,^F`gdvZjl (028:Bررؠ}k}Zk}I} hJ hmQOJPJQJ^JaJ hJ hZ=$OJPJQJ^JaJ#hJ hZ=$OJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ hmQOJPJQJ^JaJo( hJ hzOJPJQJ^JaJ'hJ h6CJOJPJQJ^JaJo($hJ hZ=$CJOJPJQJ^JaJ$hJ h0< CJOJPJQJ^JaJ'hJ hZ=$CJOJPJQJ^JaJo(BFNPVlr*,.0BJ˺ݗݩxݩgUxC#hJ hryOJPJQJ^JaJo(#hJ h0< H*OJPJQJ^JaJ hJ hryOJPJQJ^JaJ hJ hO@OJPJQJ^JaJhJ OJPJQJ^JaJ#hJ hO@OJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ hJ hE!OJPJQJ^JaJ#hJ hN>OJPJQJ^JaJo(#hJ hZ=$OJPJQJ^JaJo( hJ hN>OJPJQJ^JaJJjtx*,0BHJ"$0ḃ̺̩̘vdP&hJ hZ=$OJPJQJ\^JaJo(#hJ hmQOJPJQJ^JaJo( hJ hzOJPJQJ^JaJ hJ hz<_OJPJQJ^JaJ hJ hO@OJPJQJ^JaJ hJ hryOJPJQJ^JaJ#hJ hO@OJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ hZ=$OJPJQJ^JaJo( hJ hZ=$OJPJQJ^JaJbd|~ ǵ~l[~l~l[~l~lJُ[ hJ hO@OJPJQJ^JaJ hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ hZ=$OJPJQJ^JaJo( hJ hZ=$OJPJQJ^JaJ#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ&hJ hmQOJPJQJ\^JaJo(#hJ hzOJPJQJ\^JaJ#hJ hz<_OJPJQJ\^JaJ&hJ hZ=$OJPJQJ\^JaJo(#hJ hZ=$OJPJQJ\^JaJ~N &VVV VDWD`gdL VDWDp^ `gdJ VDWD^`gdLVDWD^`gdJ VDWD,^`gdJ VDWD`gdJ VDWD ^`gdv &(24LNbdlnpvx ǶǑn_nM_MǑn_Mnn_nMn#hJ hQ{OJPJQJ^JaJo(h' OJPJQJ^JaJo( hJ h0< OJPJQJ^JaJ#hJ hmQOJPJQJ^JaJo( hJ hmQOJPJQJ^JaJ&hJ hQ{OJPJQJ\^JaJo( h' OJPJQJ\^JaJo(#hJ h0< OJPJQJ\^JaJ&hJ hmQOJPJQJ\^JaJo(#hJ hmQOJPJQJ\^JaJ 24:<>@ɸo]O@1h' OJPJQJ^JaJo(hLOJPJQJ^JaJo(hLOJPJQJ^JaJ#hJ hmQOJPJQJ^JaJo( hJ hmQOJPJQJ^JaJ'hJ hQ{CJOJPJQJ^JaJo($hJ h0< CJOJPJQJ^JaJ!h' CJOJPJQJ^JaJo(!hLCJOJPJQJ^JaJo(hLCJOJPJQJ^JaJ'hJ hmQCJOJPJQJ^JaJo($hJ hmQCJOJPJQJ^JaJ V$V&V:VOJPJQJ\^JaJ hvOJPJQJ\^JaJo(&hJ h6utOJPJQJ\^JaJo( h^OJPJQJ\^JaJo(&hJ hN>OJPJQJ\^JaJo(&hJ hQ OJPJQJ\^JaJo(\\\\\]]]]Z]z]]]]]]],^2^4^@^h^^^^^^<_B_D_R____________``2`٭٘ل٘˜لppل&hYB*OJPJQJ^JaJo(ph&hYhY5OJPJQJ\^JaJ)hYhYB*OJPJQJ^JaJph)hYhY5OJPJQJ\^JaJo(,hYhYB*OJPJQJ^JaJo(ph&hYhYOJPJQJ\^JaJo(#hYhYOJPJQJ\^JaJ,4^^D__`z``Naabbbdcc4ddddee\eVDxWD^`gdJ $WDd`a$gdJ VD hVDWDd^h`hVDWD^h`gdY VDWD`gdY2`r`x`z```````aa a"a.aFaLaNa\aaaaaaa bbb bLbxb~bbbbbbb cRc\cbcdcrccccccd,d2d4dBdldddddddլլլլլլլլլլլ&hYB*OJPJQJ^JaJo(ph)hYhYB*OJPJQJ^JaJph&hYhY5OJPJQJ\^JaJ&hYhYOJPJQJ\^JaJo(,hYhYB*OJPJQJ^JaJo(phf@fBfHfJfNfĮ횄p_K:K_K_K:_:!ht4"CJOJPJQJ^JaJo('hJ hYCJOJPJQJ^JaJo(!h?CJOJPJQJ^JaJo('hJ hQ CJOJPJQJ^JaJo(*hJ h0< CJOJPJQJ\^JaJo('hJ h0< CJOJPJQJ\^JaJ*hJ hQ CJOJPJQJ\^JaJo($hJ h0< CJOJPJQJ^JaJ*hJ hYCJOJPJQJ\^JaJo($ht4"CJOJPJQJ\^JaJo(\eePfRfXfZf\fnffggggg~~ WDd`gdJ gd?hVD^h ^VD^^gdJ WDA`gdJ WDd`gdJ  3FNt"p#gd?4lVDWD^4`lgdJ VDWD^`gdJ QVDxWD^Q`gdJ NfPfRfVfXfZf\f^fbflfnffffffïr[E2E2$ht4"CJOJPJQJ\^JaJo(*hJ hYCJOJPJQJ\^JaJo(-hJ hY5CJOJPJQJ\^JaJo('h?5CJOJPJQJ\^JaJo($hJ hkuCJOJPJQJ^JaJ*h?h?5CJOJPJQJ\^JaJ'hku5CJOJPJQJ\^JaJo(*hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJ'hJ h0< CJOJPJQJ\^JaJ$hJ h0< CJOJPJQJ^JaJf&g,g2g6g\gbg~ggggggggggױtcO;'h?h0< 5CJOJPJQJ^JaJ'hJ hJ CJOJPJQJ^JaJo(!ht4"CJOJPJQJ^JaJo(*hJ hJ 5CJOJPJQJ^JaJo('hJ h0< 5CJOJPJQJ^JaJ$h?5CJOJPJQJ^JaJo($hJ h0< CJOJPJQJ^JaJ$h?CJOJPJQJ\^JaJo($ht4"CJOJPJQJ\^JaJo(*hJ hJ CJOJPJQJ\^JaJo(ggggggggggggggggghhh hҾҕvnjnjnjnjvh nZjh nZUh6h0< OJPJQJ^Jh0< CJOJPJQJ^JaJ*hJ hJ CJOJPJQJ\^JaJo($hJ h0< CJOJPJQJ^JaJ'h?5CJOJPJQJ\^JaJo(*hJ h0< 5CJOJPJQJ\^JaJ-hJ hJ 5CJOJPJQJ\^JaJo(gggggggghhhh hgdO@WD` 2&P :pku. A!"#n$% j$Kr3 s2 0@P`p2( 0@P`p 0@P`p 0@P`p 0@P`p 0@P`p 0@P`p8XV~ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@ 0@PJ_HmH nHsH tH4`4 \_HmH nHsH tH<< ȩ 1$@&5>*CJ$OJQJ@@ ȩ 2 $@&a$5>*CJ(OJQJHH ȩ 3$@&WDd`d`5CJOJQJ\(A ( 0 } 4BiB 0\ \4 l4a $k $ 0] L :C@: 8 0^ CJOJQJRLR  1$4$a$'5CJKHOJPJQJ\q &F>@F ȩ1$4$7$8$a$5CJ(KHOJ\aJ0"0 O@8B#G$(1( O@8 Char0 B0 O@B#G$(Q( O@ CharPK![Content_Types].xmlN0EH-J@%ǎǢ|ș$زULTB l,3;rØJB+$G]7O٭V4з<mSڴ/Jc%[n%d ˌܫ{so9)',i3%ɐH2iBu@Q;=w΢;`t#!;"B3g'l M'QoLR)(ƈ$^;}G޻H Col(,|C:6]hĎpM⹳E0bfS 蠢L'y{A+Tl⺵n r CiE펿jST^_+Pz!D+P7WW lkVǫx(I6%?1Vxz !]1KĶ[,@)$q|hţ|Ǔo_c[Fw#{d2¹I6"֐ Ⱦ1VF$m!Fln8mFmC Q F/@T%$"<. 06+)WKEfM&2bLGvAxjILQ\ec lM t\ Ai5AYǰ۟1Jj@ =Ir2q[q9}CNRb]Wkb .!KG+x͒f{+o e{ rm=޺{JbN%6ӨN]q~Fp)W2t`&)R6NDDMa_v _pg8lUշYF١\L<8ÁCd蠶:ۉ:0/ H!ufZHԖ2HxAP#{#,u~ @- lv5]0sx$z]7m4f#3`uxrtT{L$fPQ5GhS ucR ֊Fo,Nk[JAUMpOapEtІ"IerA<D'S:MW?OM(n ©%Y9m fxBO"#݂gZa}OlG#gk_+w@,#/5s![Ϳ´]CY;-*.\IyNG1cj!Y,zPjW֪r#9M4W5PY5*f,k  HF , L H $vTBZBJb  VW2Y2ZzZ<[\2`dTeNffg h !#$%&()*5789:;<>?@BCD V4^\eg h"'6=AET # @H 0(  0(  B S  ? OLE_LINK1z}PT VYmq}ehil & (   RU[]hk#:>QYry7A8:<D   $)+4_h@Y   . < ^ j z  > L c p O V  ) 1 D K  ! R _ z []33333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333<L\-H<T#CTJ O    R WdI!$&/\M >7>'mk87JD FcgXC0J`B,lXF[/Q65Po\^tHD| hTrN>&4jcN-ؿD2 .]2 Ea|3z&cN-F[ĊZÆfŜ´HQ;>$fN"p|t                 :!*        4                 ^ц        P NR                         n          OpqmN!-OplD!LBqmN!,T&,T&)|)@l47lD!@#JZ H!ALB)|) #JZ-e)04h0< ' x 6IE!t4"3$Z=$!)}-(k.l1`;2A2 3C"5JJ8z#:h':w:O@4DYLDVJF'PmQZR`UZqW nZz<_R`.a|tb5\f1gpkXlko*q:^r6utkuEsvguvwFxQ{x,\ ,O= P$c}@_c%}Ne mz^f(PYZ[jN>+mqLGryPLvJ [EdG.?Y`]Q CL .H @@ VUnknownG*Ax Times New Roman5Symbol3. *Cx Arial9> |i0tGulim;|i0Batang/=  |i0t;WingdingsA$BCambria Math 1hSSSSB " "!"!%),.:;?]}  2 3 ! 0 0 0000 =]$([\{  0 0 0000;[ 3QHP ?:^r2!xx  SPECIFICATIONu.s.yOwner i Z'`IZ'                         Oh+'0t  $ 0 < HT\dlSPECIFICATIONu.s.yNormalOwner2Microsoft Office Word@@gm@h@h՜.+,0 hp|   "  SPECIFICATION   !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<=>?@ABCDEFHIJKLMNPQRSTUVWXYZ[\]^_`abcdefghijklmnopqrstuvwxy{|}~Root Entry FHhData G1TableOSUWordDocument4SummaryInformation(zDocumentSummaryInformation8CompObjn  FMicrosoft Word 97-2003 MSWordDocWord.Document.89q