Toshiba machine
ST(G2)-RtP
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 롤장비
2017.12.20.
₩1,864,699,220
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
₩114,500
2세대(370 x 470 mm) 기판 위에 나노 패턴을 임프린팅하여 각 종의 첨단 광학 부품들을 제작 할 수 있는 장비로서 임프린팅 시스템과 잉크젯팅 시스템이 일체화되어 있어서 사용 레진의 토출량을 매우 정밀하게 제어할 수 있기 때문에 임프린트 후의 잔막을 50 nm이하로 구현할 수 있기 때문에 후공정에서 건식 에칭이 가능하도록 설계된 초정밀 임프린트 시스템임
(1) 주 시스템 : 1식 (임프린터 & 잉크젯코터 인라인시스템)
- 임프린트 유닛
- 레진몰드용 유닛
레진몰드는 고객 공급.
패턴 형상 : L & S
패턴 사이즈 : L/S =50/70 nm, 높이 : 140 nm
기재 : PET (t=188 μm)
- 잉크젯 유닛
UV수지는 고객 공급(점도: 5~15 CPS)
- 테이블 유닛
글래스 기판은 고객 공급 (370 x 470 x t0.5~10 mm)
플라스틱 기판은 고객 공급 (370 x 470 x t0.5~10 mm)
필름 기판은 고객 공급 (370 x 470 x t0.08~0.2 mm)
- 전기 유닛
- 챔버 유닛 (비상정지버튼, 헤파 필터 유닛, 온도조절 유닛)
(2) 소프트웨어 : 1식
- PLC 컨트롤 소트프웨어
- 터치 판넬 (7inch) 컬러
(3) 기술 자료
- 잔막층 : 50 nm or 이하
- 패턴 폭 : 40 ~ 500 nm
- 패턴 피치 : 80 ~ 1000 nm
- 패턴 높이 : 100 ~ 1500 nm