보유장비현황
- 보유장비현황
- 비접촉 면저항 측정기
- Non Contact Sheet Resistance Measurement System
- i-Tube No. 1804-D-0151
- NTIS No
- 설치기관 한국과학기술연구원
- 주소 서울 성북구 하월곡2동 39-1
- 담당자 양철민 (T.063-219-8143)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
KITEC microelectronic technologie GmbH
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모델 명
M-RES 5210D-400
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
전기·전자장비 > 분석장비 > 달리 분류되지 않는 분석장비
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취득일
2018.04.11.
취득금액₩182,500,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩60,000
장비설명
비접촉 면저항 측정장비는 와전류 방식의 sensor를 이용하여 시료의 표면에 접촉을 하지 않고 비접촉으로 면저항을 측정 할 수 있는 장비로써, 다양한 형태 및 크기의 시료를 측정하기 위해 Gantry type의 와전류 sensor, 시료의 고정 및 측정을 할 수 있는 대형 stage, X, Y, Z moving이 가능한 control unit, 그리고 data를 처리 할 수 있는 S/W로 구성되어 있음.
장비 구성 및 성능
1. 구성
Main System : GANTRY TYPE SENSOR(DUAL + 1 SENSOR) + STAGE(VACUUM STAGE)
+ CONTROL UNIT(전장 SYSTEM) +W10 PC with Touchscreen Monitor
2. 성능
Sensor Moving : X, Y, Z CONTROL
Measurement range : 0.001~ 1,000ohm/sq
Stage Size : 400mm x 500mm (VACUUM STAGE)
AUTO Mapping
2D Uniformity Graph