보유장비현황
- 보유장비현황
- DLC 에칭시스템
- DLC Etching system
- i-Tube No. 1710-C-0138
- NTIS No NFEC-2017-11-240595
- 설치기관 (재)울산테크노파크
- 주소 울산광역시 중구 종가로 15 울산테크노파크
- 담당자 정범용 (T. )
- 매뉴얼
-
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
ATF
-
모델 명
제작장비
내용연수11년
-
구분
옵션/액세서리(보조장치)
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기 (주장비: EPN0149039)
-
취득일
2017.10.25.
취득금액₩29,425,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료₩880,000
장비설명
DLC (Diamond-Like Carbon) 코팅시스템의 보조장치로서 DLC코팅 적용 시 발생된 불량품은 플라즈마 이온 에칭기술을 통해 코팅막을 제거하고 초음파세정을 통해 재적용 가능함. 기 구축된 DLC 코팅장비의 에칭기능 외에 별도로 에칭시스템을 구축하여 DLC 코팅의 불량률품을 처리하여 작업성을 개선하여 DLC코팅시스템의 활용성을 높이고자함
장비 구성 및 성능
• Chamber Size (mm) : 305Φ× 250h
• 플라즈마 전극 (mm) : 250Φ 수냉식
• 카본 에칭 Rate : 50nm/min
• Door 상부 Open 방식
• Digital 진공게이지 사용 (Rotary Pump)
구성내역
1. Chamber 1 set
2. Vacuum Gauge 1 ea
3. Vacuum pump 1 ea
4. RF Power 1 set
• RF Power : 300W Auto-matching