보유장비현황
- 보유장비현황
- 박막두께측정기
- Thin Film Thickness Analyzer
- i-Tube No. 1708-F-0198
- NTIS No NFEC-2017-09-239587
- 설치기관 (재)울산테크노파크
- 주소 울산광역시 중구 종가로 15 울산테크노파크
- 담당자 정범용 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
스캔플러스
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모델 명
D-600
내용연수11년
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구분
부대장비(부가장치)
용도분석
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표준 분류
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 길이측정장비 (주장비: EPN0149039)
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취득일
2017.08.30.
취득금액₩62,300,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩41,250
장비설명
D-600 Surface Profiler는 Glass 나 Silicon Wafer 위에 도포된 각종 박막의 두께(단차)를 1Angstrom의 분해능으로
10nm 에서 1200um 까지 측정하는데 있으며 도포된 박막의 표면 거칠기 ( Roughness )를 측정하여 막질의 연구에 사용됨
장비 구성 및 성능
D-600 의 구성은 측정부- MicroHead Arm Sensor Assy - 측정 속도, 거리, 샘플링 rate control
측정 샘플의 holding, 위치 변환 등을 조절하는 200mm Motorized Vacuum Stage
Software Program 고동의 PC, Monitor, Keyboard, mouse 등