보유장비현황
- 보유장비현황
- 주사식 전자 현미경
- FE-SEM (SUPRA 35)
- i-Tube No. 0501-A-0121
- NTIS No NFEC-2010-12-118083
- 설치기관 (재)울산테크노파크
- 주소 울산광역시 중구 종가로 15 울산테크노파크
- 담당자 김도한 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
ZIESS
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모델 명
SUPRA 35
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
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취득일
2005.01.01.
취득금액₩508,000,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료₩50,000
장비설명
전계방출형 전자총에서 가속된 전자가 시료의 표면에 조사될 때 발생되는 2차 전자 (secondary electron)에 의해 시료의 미세영상을 확대하여 관찰할 수 있으며, 후방 산란된 전자 (back scattered electron)의 전하량 차이에 의해 조성원소 중 질량이 큰 원소와 작은 원소의 분포 (composition)을 알 수 있는 고해상도 전자현미경
장비 구성 및 성능
- Resolution: 1.0 nm at 20 kV at WD = 2 mm
1.3 nm at 15 kV at WD = 2 mm
1.5 nm at 10 kV at WD = 2 mm
5.0 nm at 200 V at WD = 2 mm
- Magnification Range: 12 - 900,000x
- Acceleration Voltage Range: 0.1 - 30 kV
- Probe Current Range : 4pA-10nA, 20nA with optional High
Current / Depth of Field module.
Stability : Better than 0.2 %/h.