ThermoFisher
Quattro S
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2020.06.08.
₩483,554,960
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
₩61,000
o 자동차부품 및 소재의 적용 범위의 결정, 공정품질평가, 불량분석을 위해 다양한 시료(박막, Powder, Bulk 등)에 대한 초미세형상분석, 정성분석, 열변화에 따른 시험분석에 필수적으로 필요한 장비
○ SEM Electron Optics
- Source type : Schottky field emitter
- Probe Current : ≤ 200 nA, continuously adjustable
- Resolution :
* High vacuum
• 1.0 nm at 30 kV
• 3.0 nm at 1 kV
* Low vacuum
• 1.3 nm at 30 kV
• 3.0 nm at 3 kV
- SE and BSE detection
○ stage
- X,Y : 110 mm,
- Z : 65 mm motorized
- T : - 5° to + 70°
- R : 360°
- X, Y repeatability: 3 μm
○ Detectors
- Large Field Low vacuum SED(LFD)
- Everhart-Thornley SE detector (SED)
- Gaseous SED (GSED)
- Directional Backscatter (DBS) detector
- vCD(low voltage high contrast detector)
○ In-situ stage
- Heating(950 ℃)/Cooling(-25 ℃ ) stage
- Peltier/Heating stage control kit
○ Miscellaneous
- Integrated Plasma Cleaner
- CryoCleaner EC
- In-chamber sample navigation camera (Nav-Cam)
- Integrated beam current measurement
○ EDS
- EDS UltraDry 60M (129 eV)