Lithotek
LABA-1300
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비
2014.06.24.
₩433,399,100
기관의뢰
고정형
건별
₩83,000
진공 챔버 내부에서 광학필름과 panel/glass의 합착을 위한 공정 장비
Mark 인식기를 이용한 고정밀 위치 제어
진공 챔버내에서 align 및 UV 경화공정을 수행으로 기포발생 최소화
1. Sample size : 5 ~ 55 inch
2. Align accuracy : 3um
3. Vacuum chamber
4. Motorize fine focus and Zoom lens
5. Vision align using align marker